[发明专利]DBD等离子体放电静电消除器有效
申请号: | 200810095593.9 | 申请日: | 2008-04-29 |
公开(公告)号: | CN101299900A | 公开(公告)日: | 2008-11-05 |
发明(设计)人: | 高柳真 | 申请(专利权)人: | 株式会社TRINC |
主分类号: | H05F3/04 | 分类号: | H05F3/04;H05H1/24 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 杜娟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | dbd 等离子体 放电 静电 消除 | ||
1. 一种等离子体放电静电消除器,包括:
至少一个等离子体放电电极主体,用于产生作为离子源的等离子 体,并且包含在其间施加交流电压的至少两个电极,和覆盖所述电极 的电介质;
至少一个内栅网电极,配置在所述等离子体放电电极主体的周 围;和
至少一个外栅网电极,配置在所述内栅网电极的外部。
2. 根据权利要求1的等离子体放电静电消除器,其中在所述内 栅网电极和所述外栅网电极之间施加可调节电压,以控制电场的强 度。
3. 根据权利要求2的等离子体放电静电消除器,其中在所述内 栅网电极和所述外栅网电极之间产生向外的或向内的电场。
4. 根据权利要求2的等离子体放电静电消除器,其中在所述内 栅网电极和所述外栅网电极之间交替产生向外的和向内的电场。
5. 根据权利要求1的等离子体放电静电消除器,还包括:反射 电极,配置在所述外栅网电极的外部。
6. 根据权利要求5的等离子体放电静电消除器,其中向所述反 射电极和所述内栅网电极施加相同极性的电压。
7. 根据权利要求5的等离子体放电静电消除器,其中所述反射 电极在与发射离子的方向相反的方向上相对于所述等离子体放电电 极主体而配置。
8. 根据权利要求1的等离子体放电静电消除器,其中包括用于 发射正离子的离子源的一个等离子体放电电极主体与包括用于发射 负离子的离子源的另一等离子体放电电极主体并置。
9. 根据权利要求1的等离子体放电静电消除器,其中所述外栅 网电极接地。
10. 根据权利要求1的等离子体放电静电消除器,其中在所述等 离子体放电电极主体的外部配置有加热器。
11. 根据权利要求1的等离子体放电静电消除器,其中所述内栅 网电极构成加热器。
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