[发明专利]DBD等离子体放电静电消除器有效

专利信息
申请号: 200810095593.9 申请日: 2008-04-29
公开(公告)号: CN101299900A 公开(公告)日: 2008-11-05
发明(设计)人: 高柳真 申请(专利权)人: 株式会社TRINC
主分类号: H05F3/04 分类号: H05F3/04;H05H1/24
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 杜娟
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: dbd 等离子体 放电 静电 消除
【权利要求书】:

1. 一种等离子体放电静电消除器,包括:

至少一个等离子体放电电极主体,用于产生作为离子源的等离子 体,并且包含在其间施加交流电压的至少两个电极,和覆盖所述电极 的电介质;

至少一个内栅网电极,配置在所述等离子体放电电极主体的周 围;和

至少一个外栅网电极,配置在所述内栅网电极的外部。

2. 根据权利要求1的等离子体放电静电消除器,其中在所述内 栅网电极和所述外栅网电极之间施加可调节电压,以控制电场的强 度。

3. 根据权利要求2的等离子体放电静电消除器,其中在所述内 栅网电极和所述外栅网电极之间产生向外的或向内的电场。

4. 根据权利要求2的等离子体放电静电消除器,其中在所述内 栅网电极和所述外栅网电极之间交替产生向外的和向内的电场。

5. 根据权利要求1的等离子体放电静电消除器,还包括:反射 电极,配置在所述外栅网电极的外部。

6. 根据权利要求5的等离子体放电静电消除器,其中向所述反 射电极和所述内栅网电极施加相同极性的电压。

7. 根据权利要求5的等离子体放电静电消除器,其中所述反射 电极在与发射离子的方向相反的方向上相对于所述等离子体放电电 极主体而配置。

8. 根据权利要求1的等离子体放电静电消除器,其中包括用于 发射正离子的离子源的一个等离子体放电电极主体与包括用于发射 负离子的离子源的另一等离子体放电电极主体并置。

9. 根据权利要求1的等离子体放电静电消除器,其中所述外栅 网电极接地。

10. 根据权利要求1的等离子体放电静电消除器,其中在所述等 离子体放电电极主体的外部配置有加热器。

11. 根据权利要求1的等离子体放电静电消除器,其中所述内栅 网电极构成加热器。

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