[发明专利]DBD等离子体放电静电消除器

说明书

技术领域

本发明总的涉及将等离子体用作离子源的静电消除器，更具体地，涉及使用介质阻挡放电(以下称为DBD)的等离子体放电静电消除器。 

背景技术

由同一申请人于2006年3月2日提交的在先日本专利申请No.2006-055714公开了将等离子体用作离子源的DBD等离子体放电静电消除器。 

虽然根据所公开的发明，由于带电粒子存在于等离子体附近，所以位于静电消除器附近的物体可消除静电，但是为了消除远端物体的静电，则必须使用风机或压缩空气从等离子体提取带电粒子并将其传送到物体。 

然而，虽然可通过风机或压缩空气提取静电荷，但是由于在周围出现气流，所以会出现这样的问题，即吹起灰尘以及引起由灰尘带来的缺陷。为此，需要一种在不使用风机或压缩空气的情况下使带电粒子飞走的新方法。 

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种DBD等离子放电静电消除器，其中在不使用例如风机或压缩空气的外力的情况下可将等离子体产生的带电粒子传送到远端。 

为了实现该目的，提供了一种等离子体放电静电消除器，包括：至少一个等离子体放电电极主体，其用于产生作为离子源的等离子体，并且包含在其间施加交流电压的至少两个电极，和覆盖所述电极的电介质；至少一个内栅网电极，配置在所述等离子体放电电极主体的周围；和至少一个外栅网电极，配置在所述内栅网电极的外部。 

参照以下附图，将在本发明的以下详细描述中说明本发明的其它目的、特点和优点。 

附图说明

图1示出根据本发明的静电消除器的第一实施例，图1a是其平面图，图1b是其正面图，图1c是沿图1a的线A-A取的其截面图，图1d是示出电源系统的示意性示图，图1e是示出静电消除器的等离子体放电电极主体的侧面图； 

图2示出根据本发明的静电消除器的第二实施例，图2a是作为整体示出静电消除器的示意性平面图，图2b是示出在施加到内栅网和外栅网的电压极性、内栅网和外栅网之间的电场方向、和发射的带电粒子极性之间的关系列表； 

图3示出在电场和从电场接收的力之间的关系，图3a示出正带电粒子的情况，图3b示出负带电粒子的情况； 

图4示出根据本发明的静电消除器的第三实施例； 

图5示出根据本发明的静电消除器的第四实施例； 

图6示出根据本发明的静电消除器的第五实施例，图6a是静电消除器的示意性平面图，图6b是示出施加到2个内栅网和2个外栅网的电压极性的列表； 

图7示出根据本发明的静电消除器的第六实施例，图7a是静电消除器的示意性平面图，图7b是示出施加到内栅网、外栅网和反射电极的电压极性的列表； 

图8示出根据本发明的静电消除器的第七实施例； 

图9示出根据本发明的静电消除器的第八实施例，图9a是其示意性平面图，图9b是沿图9a的线A-A取的其截面图，图9c示出加热器驱动电路；和 

图10示出根据本发明的静电消除器的第九实施例，图10a是其 示意性平面图，图10b是沿图10a的线A-A取的其截面图，图10c示出加热器驱动电路。 

具体实施方式

第一实施例 

图1示出根据本发明的静电消除器的第一实施例，图1a是其平面图，图1b是其正面图，图1c是沿图1a的线A-A取的其截面图，图1d是示出电源系统的示意性示图，图1e是示出静电消除器的等离子体放电电极主体的侧面图。 

首先，将说明用以产生等离子体，即带电粒子120的等离子体放电电极主体。如图1a所示，等离子体放电电极主体100配置在静电消除器10的中心。如图1e所示，例如，等离子体放电电极主体100包括：平行并置的由导体构成的2个电极102和104，以及覆盖这些导体的电介质106。电介质106形成有凹入区(recessed area)108，该凹入区108在电介质上构成细薄部分，以辅助产生等离子体。然而，该凹入区不是必须的。 

在先日本专利申请No.2006-055714详细描述了等离子体放电电极主体100的其它实例。例如，电极102和104配置在直线上，而不是并置，从而它们的前端彼此相对。凹入区可采用各种构造。其详细说明可参考日本专利申请No.2006-055714。