[发明专利]偏心检查装置及偏心调节装置

权利要求书

1.一种偏心检查装置，其特征在于，该偏心检查装置具有：

保持被检光学系统的保持部；

隔着上述保持部配置在一侧，出射平行光束的光源部；

隔着上述保持部配置在一侧，检测来自上述被检光学系统的光的检测单元；以及

配置在上述光源部和上述保持部之间的基板，

上述基板具有偶数个开口，

4个以上的上述开口分别等间隔地位于一个圆的圆周上，或者，4个以上的上述开口分别等间隔地位于二个以上的同心圆的各个圆周上，

上述偏心检查装置还具有：

在从上述基板到上述保持部的光路中，将通过上述开口的平行光束转换成轴外光束的光束转换单元。

2.根据权利要求1所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述光束转换单元由反射镜组成，

上述反射镜配置成使光束沿朝向上述光路的光轴的方向出射。

3.根据权利要求2所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述反射镜配置成可自由变更上述光束的出射角度。

4.根据权利要求1所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述光束转换单元由棱镜组成，

上述棱镜的一个侧面为从中心向周边其厚度变化的倾斜面。

5.根据权利要求4所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述棱镜的一个端面为凹状。

6.根据权利要求4所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述棱镜的一个端面为凸状。

7.根据权利要求4～6的任意一项所述的偏心检查装置，其特征在于，

在上述棱镜和上述保持部之间具有反射镜。

8.根据权利要求7所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述反射镜配置成可自由变更上述光束的出射角度。

9.根据权利要求4～8的任意一项所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述棱镜配置成可在上述被检光学系统的光轴方向上自由移动。

10.根据权利要求1所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述光束转换单元由透镜组成。

11.根据权利要求10所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述透镜配置成可在上述被检光学系统的光轴方向上自由移动。

12.根据权利要求1所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述光束转换单元由多个透镜组成，一个以上的透镜配置成可在上述被检光学系统的光轴方向上自由移动。

13.根据权利要求12所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述多个透镜配置成可一体地在上述被检光学系统的光轴方向上自由移动。

14.根据权利要求1～13的任意一项所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述基板的开口通过光刻法或铬蒸镀法形成。

15.根据权利要求1～14的任意一项所述的偏心检查装置，其特征在于，

该偏心检查装置还具有显示由上述检测单元检测到的强度分布的显示单元。

16.根据权利要求1～15的任意一项所述的偏心检查装置，其特征在于，

该偏心检查装置还具有根据由上述检测单元检测到的轴外光束的强度分布计算上述光学元件的偏心量的运算单元。

17.根据权利要求16所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述运算单元根据透过上述被检光学系统的四个不同象限的光束的强度分布或者光束的形状，计算上述被检光学系统的偏心量。