[发明专利]偏心检查装置及偏心调节装置

说明书

技术领域

本发明涉及通过评价光学系统的轴外光束的成像性能，检查光学系统的偏心的偏心检查装置及用于调节偏心的偏心调节装置。

背景技术

光学系统可由多个光学元件构成。这样的光学系统中，例如，若以相对于光学系统的光轴在垂直方向偏离的状态组装光学元件，则由光学元件的偏心产生像差(以下称为“偏心像差”)，结果，导致光学性能降低。尤其在数码照相机和手机用照相机的照相机透镜中，非球面化、小直径化、高倍率化正在不断发展。从而，对其光学性能的要求日益严格。因此，仅仅通过提高传统的透镜单体的加工精度已难以满足期望的光学性能。因此，制造工序中，多个透镜构成的光学系统的偏心检查及偏心调节成为必须。

但是，众所周知，由于该偏心像差，即使是轴上光束也发生会聚的点像拉成彗星的现象，即发生轴上彗星像差。轴上彗星像差成为使光学系统的成像性能恶化的原因。因此，如专利文献1所公开的那样，已知有通过由会聚的点像检测轴上彗星像差的像差量来调节光学元件的偏心的装置。

专利文献1的透镜系统的光轴调节装置如图11所示。该装置中，在第一透镜系统36、第二透镜系统39的光轴成铅直方向的配置下，固定第一透镜系统36。并且，通过使第二透镜系统39微动，使第一透镜系统36、第二透镜系统39的光轴一致。

该装置中，为了进行调节，具备部件30～35、部件43、图像处理部、部件46、部件47、40。部件30～35是将中心光线及与该中心光线平行的3束以上的环带光线照射到第一透镜系统36、第二透镜系统39上的部件。

部件43是接收透过第一透镜系统36、第二透镜系统39的中心光线及环带光线的部件。图像处理部是生成与由中心光线及环带光线分别形成的像对应的信号并根据信号求出各像的照度的部件。部件46是由照度的分布求出环带光线的像及中心光线的像的中心坐标，根据由其差获得的轴上彗星像差的量求出微调心补正量的部件。部件47、40是根据微调心补正量使第二透镜系统39向与光轴垂直的方向微动的部件。

专利文献1：日本特许第3208902号公报

但是，根据不同的光学系统，与轴上光束相比，有时对轴外光束产生更大的偏心像差。这样的光学系统与传统一样，仅根据轴上光束的像差量调节光学元件的偏心。此时，即使调节光学元件的偏心使该偏心像差最小，也不能说必定将整个光学系统调节到了最佳状态。因此，可能成为各轴外光束的焦点位置不同的具有所谓单侧模糊的光学系统。这样，采用传统的调节装置(例如专利文献1记载的透镜系统调节装置)的评价/调节方法中，只能评价轴上光束产生的偏心像差。因此，传统的评价/调节方法，难以针对轴外光束调节光学系统，以满足期望的成像性能。

发明内容

本发明正是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供一种通过评价光学系统的轴外光束的成像性能，检查光学系统内的光学元件的偏心的偏心检查装置及用于调节光学元件的偏心的偏心调节装置。

为了达到上述目的，本发明的偏心检查装置，其特征在于，该偏心检查装置具有：保持被检光学系统的保持部；隔着上述保持部配置在一侧，出射平行光束的光源部；隔着上述保持部配置在一侧，检测来自上述被检光学系统的光的检测单元；以及配置在上述光源部和上述保持部之间的基板，上述基板具有偶数个开口，4个以上的上述开口分别等间隔地位于一个圆的圆周上，或者，4个以上的上述开口分别等间隔地位于二个以上的同心圆的各个圆周上，上述偏心检查装置还具有：在从上述基板到上述保持部的光路中，将通过上述开口的平行光束转换成轴外光束的光束转换单元。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述光束转换单元由反射镜组成，上述反射镜配置成使光束沿朝向上述光路的光轴的方向出射。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述反射镜配置成可自由变更上述光束的出射角度。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述光束转换单元由棱镜组成，上述棱镜的一个侧面为从中心向周边其厚度变化的倾斜面。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述棱镜的一个端面为凹状。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述棱镜的一个端面为凸状。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，在上述棱镜和上述保持部之间具有反射镜。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述反射镜配置成可自由变更上述光束的出射角度。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述棱镜配置成可在上述被检光学系统的光轴方向上自由移动。