[发明专利]处理液再生方法及含于处理液的金属的回收方法

权利要求书

1.一种处理液再生方法，其是再生由于基板处理而含有金属成分的处理液的方法，其特征在于，包括：

在进行所述基板处理的处理区域中，使所述处理液通过内部填充有吸附金属离子的吸附材料的可移式容器内，将该处理液中的金属成分吸附于所述吸附材料而进行分离、除去的处理液再生工序；

将使所述处理液通过的可移式容器输送至从所述处理区域隔离的区域即再生所述吸附材料的吸附材料再生区域的第一输送工序；

在所述吸附材料再生区域中，使洗提液通过从所述处理区域输送的可移式容器内，洗提吸附于所述吸附材料的金属，再生该吸附材料的吸附材料再生工序；

将再生了所述吸附材料的可移式容器从所述吸附材料再生区域回送至所述处理区域的第二输送工序，

在所述处理液再生工序中，使用吸附材料再生后的可移式容器。

2.根据权利要求1所述的处理液再生方法，其特征在于，

在所述吸附材料再生工序中，使所述洗提液通过后，使清洗液通过所述可移式容器内而清洗其内部。

3.根据权利要求1所述的处理液再生方法，其特征在于，

在所述可移式容器形成：用于向内部供给所述处理液及洗提液的供给部，和用于向外部排出从该供给部供给于内部的处理液及洗提液的排出部，

在所述处理液再生工序中，使用第一通液装置，所述第一通液装置具备：以能够装卸的方式连接于所述可移式容器的供给部，供给所述处理液的处理液供给管；和以能够装卸的方式连接于所述可移式容器的排出部，回收所述处理液的处理液回收管，

并且，使所述处理液供给管与所述供给部连接，使所述处理液回收管与所述排出部连接后，使所述处理液以从所述供给部向所述可移式容器的内部流入而从所述排出部排出的方式通液，然后，从所述供给部卸下所述处理液供给管，从所述排出部卸下所述处理液回收管，

在所述吸附材料再生工序中，使用第二通液装置，所述第二通液装置具备：以能够装卸的方式连接于所述可移式容器的供给部，供给所述洗提液的洗提液供给管；和以能够装卸的方式连接于所述可移式容器的排出部，回收所述洗提液的洗提液回收管，

并且，使所述洗提液供给管与所述供给部连接，使所述洗提液回收管与所述排出部连接后，使所述洗提液以从所述供给部向所述可移式容器的内部流入而从所述排出部排出方式通液，然后，从所述供给部卸下所述洗提液供给管，从所述排出部卸下所述洗提液回收管。

4.根据权利要求2所述的处理液再生方法，其特征在于，

在所述可移式容器形成：用于向内部供给所述处理液、洗提液及清洗液的供给部，和用于向外部排出从该供给部供给于内部的处理液、洗提液及清洗液的排出部，

在所述处理液再生工序中，使用第一通液装置，所述第一通液装置具备：以能够装卸的方式连接于所述可移式容器的供给部，供给所述处理液的处理液供给管；和以能够装卸的方式连接于所述可移式容器的排出部，回收所述处理液的处理液回收管，

并且，使所述处理液供给管与所述供给部连接，使所述处理液回收管与所述排出部连接后，使所述处理液以从所述供给部向所述可移式容器的内部流入而从所述排出部排出的方式通液，然后，从所述供给部卸下所述处理液供给管，从所述排出部卸下所述处理液回收管，

在所述吸附材料再生工序中，使用第二通液装置，所述第二通液装置具备：以能够装卸的方式连接于所述可移式容器的供给部，供给所述洗提液及清洗液的供给管；和以能够装卸的方式连接于所述可移式容器的排出部，回收所述洗提液及清洗液的回收管，

并且，使所述供给管与所述供给部连接，使所述回收管与所述排出部连接后，使所述洗提液以从所述供给部向所述可移式容器的内部流入而从所述排出部排出的方式通液，接着，使所述清洗液以从所述供给部向所述可移式容器的内部流入而从所述排出部排出的方式通液，然后，从所述供给部卸下所述供给管，从所述排出部卸下所述回收管。