[发明专利]确定机床或测量机中的几何误差的方法

权利要求书

1.一种确定测量机中的几何误差的方法，所述测量机包括用于在 测量空间内移动标靶的移动单元(4)，所述方法包括以下步骤：

利用激光干涉仪(13)在测量空间内沿着一方向产生激 光束；

利用所述移动单元(4)将所述标靶沿着所述方向移动到 多个点；

利用所述激光干涉仪(13)测量每个所述点相对于沿着 所述方向定位的原点的横坐标；

利用所述测量机(1)获得每个所述点的坐标；

对所述测量空间内的多个方向重复前述的步骤，并且通 过对每个方向进行以下步骤来确定所述测量机的误差参数：

根据由所述激光干涉仪(13)测量的横坐标来计算所述 点的重心；

根据由所述测量机(1)获得的坐标来计算所述点的重心；

根据由所述测量机(1)获得的坐标来确定接近连续点的 线；

要求：根据由所述测量机(1)获得的坐标所计算的点的 重心与根据由所述激光干涉仪(13)测量的横坐标所计算的点 的重心一致；以及所述线沿着所述方向定位。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，确定所述测量机的 误差参数的步骤包括将由所述测量机(1)获得的每个点在所 述方向上的投影与由所述激光干涉仪(13)获得的横坐标之间 的差值的总和最小化的步骤。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述标靶是背反射 器(12)。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述方 法包括利用由致动装置(16)控制的镜子(17)，通过偏转由 所述干涉仪(15)产生的激光束，而沿着不同方向产生连续激 光束(14)的步骤。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，所述 方法包括至少两个沿着两个不同方向获取各点的步骤；对于所 述至少两个沿着两个不同方向获取各点的步骤，所述标靶以不 同的偏移量安装在所述移动单元(4)上。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法包括至少 两个沿着两个不同方向获取各点的步骤；对于所述至少两个沿 着两个不同方向获取各点的步骤，所述标靶以不同的偏移量安 装在所述移动单元(4)上。