[发明专利]薄膜晶体管阵列面板及其制造方法无效
申请号: | 200810097141.4 | 申请日: | 2008-05-19 |
公开(公告)号: | CN101308854A | 公开(公告)日: | 2008-11-19 |
发明(设计)人: | 林智淑 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L23/522;H01L21/84;H01L21/768;G02F1/1362 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 张波 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 阵列 面板 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及薄膜晶体管阵列面板以及制造薄膜晶体管阵列面板的方法。
背景技术
通常,液晶显示器(LCD)包括下面板、面对下面板的上面板、夹设在下面板和上面板之间的液晶层和驱动LCD的驱动器。例如,下面板包括多个栅极线、多个数据线和像素,每个像素都连接到多个栅极线的一个栅极线和多个数据线的一个数据线,并且包括例如薄膜晶体管(TFT)的开关元件或者像素电极。下面板称为TFT阵列面板。上面板包括公共电极,并且称为公共电极面板。驱动器包括例如驱动芯片,但不限于此。
驱动器设置在下面板的周边区域,且特别是,驱动器设置在TFT阵列面板对应于数据线端部的周边区域的上周边区域或者下周边区域上。TFT阵列面板的尺寸随着驱动器的尺寸而增加。因此,LCD的尺寸也增加。
此外,信号传输线从驱动器到数据线或者栅极线传输信号,当相邻信号传输线之间的长度不同时,信号传输线之间的电阻差随着长度差的增加而增加。同样,例如,信号延迟会不规则,并且LCD的显示性能会变坏。
发明内容
根据本发明的实施例,提供了一种薄膜晶体管阵列面板,包括:基板,具有显示区域和设置在显示区域周围的周边区域;多个第一信号线,形成在基板上;多个第二信号线,与第一信号线绝缘,其形成在基板上并且通过横越第一信号线来限定显示区域的面积;驱动器,设置在周边区域上;多个连接线,设置在周边区域上,其将驱动器连接到每个第一信号线;以及绝缘层,其将第一信号线与连接线绝缘。该绝缘层包括多个接触孔,部分第一信号线和连接线通过接触孔连接,并且通过接触孔暴露的第一信号线的暴露部分的尺寸随着各接触孔到驱动器的距离的增加而增加。
第一信号线可以相对于绝缘层形成在与连接线不同的层上,并且第一线和连接线可以通过接触孔彼此接触。
第一信号线和连接线可以覆盖有绝缘层,接触孔可以包括暴露第一信号线的第一接触孔和暴露连接线的第二接触孔,并且第一信号线和连接线可以通过第一和第二接触孔彼此接触。
根据另一个实施例,所提供的薄膜晶体管阵列面板包括显示区域和具有第一、第二、第三和第四周边区域的周边区域。该薄膜晶体管包括:多个栅极线,形成在绝缘基板上,并且在第一方向上延伸;栅极绝缘层,形成在栅极线上;多个数据线,形成在栅极绝缘层上,并且在第二方向上延伸,该第二方向垂直于第一方向;驱动器,设置在第一或者第二周边区域上;以及多个数据信号传输线,形成在第三和第四周边区域的至少一个上。部分数据信号传输线包括端部,该端部经过连接线连接到数据线的端部,连接线根据连接线到驱动器的各自距离具有不同接触尺寸,并且第一周边区域在第一方向上面对第二周边区域,而第三周边区域在第二方向上面对第四周边区域。
多个数据信号传输线可以包括形成在第三周边区域上并且连接到数据线的偶数数据线和驱动器的多个第一数据信号传输线,以及形成在第四周边区域上并且连接到数据线的奇数数据线和驱动器的多个第二数据信号传输线。
多个第一数据信号传输线可以包括连接到第(j-2)数据线的多个第一偶数信号传输线和连接到第j数据线(这里,j是四的倍数)的多个第二偶数信号传输线。
多个第二数据信号传输线可以包括连接到第(j-3)数据线的多个第一奇数信号传输线和连接到第(j-1)数据线的多个第二奇数信号传输线。
第一偶数信号传输线可以相对于绝缘层形成在与第二偶数信号传输线不同的层上,第一奇数信号传输线可以相对于绝缘层形成在与第二奇数信号传输线不同的层上。
第一偶数信号传输线和第一奇数信号传输线可以与栅极线形成在相同的层上,而第二偶数信号传输线和第二奇数信号传输线可以与数据线形成在相同的层上。
第一偶数信号传输线和第一奇数信号传输线可以由第一金属制造。此时,第一金属可以是与栅极线相同的金属。另外,第二偶数信号传输线和第二奇数信号传输线可以由第二金属制造。第二金属可以是与数据线相同的金属。第二金属具有比该第一金属更低的特征电阻率(characteristic resistivity)。
第一金属可以比第二金属具有更大的电阻率。
栅极绝缘层可以包括以不同的暴露尺寸暴露第一偶数信号传输线的端部的多个第一接触孔、及以不同的暴露尺寸暴露第一奇数信号传输线的端部的多个第二接触孔,并且第一偶数信号传输线的端部可以通过不同的接触尺寸的第一接触孔与数据线的端部相接触,而第一奇数信号传输线的端部可以通过不同的接触尺寸的第二接触孔与数据线的端部相接触。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的