[发明专利]影像显示系统及其制造方法无效
| 申请号： | 200810098788.9 | 申请日： | 2008-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN101593730A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 刘侑宗;李淂裕 | 申请（专利权）人： | 统宝光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/84 | 分类号： | H01L21/84;H01L27/12;H01L27/144;H01L27/32 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所（普通合伙） | 代理人： | 翟 羽 |
| 地址： | 台湾省苗栗县新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 影像 显示 系统 及其 制造 方法 | ||
1.一种影像显示系统的制造方法，其特征在于：该方法包含下列步骤：
提供一基板，具有一第一区域和一第二区域；
在该基板的第一区域和第二区域上形成一缓冲层；
在该第二区域的缓冲层上形成一导热层；
在该第二区域的导热层上形成一隔离层；
在该第一区域的缓冲层上以及该第二区域的隔离层上形成一非晶硅层；
通过一结晶化制程使该第一区域与该第二区域的非晶硅层分别形成具有不同晶粒特性的第一多晶硅层及第二多晶硅层；
在该第一区域上形成一开关薄膜晶体管，其包括该第一多晶硅层；以及
在该第二区域上形成一驱动薄膜晶体管，其包括该第二多晶硅层。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：该第一多晶硅层的晶粒尺寸大于该第二多晶硅层的晶粒尺寸。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：该方法还包括在该第二区域上形成一光感测组件，其包括该第二多晶硅层，且该导热层用以反射照在该光感测组件上的光线。
4.一种影像显示系统，其特征在于：该影像显示系统包含：
一基板，具有一第一区域和一第二区域；
一开关薄膜晶体管，位于该基板的该第一区域上，且包括一第一多晶硅层；以及
一驱动薄膜晶体管，位于该基板的该第二区域上，且包括一第二多晶硅层，以及一导热层，该第二多晶硅层和该导热层间隔着一隔离层，
其中该第一多晶硅层与该第二多晶硅层具有不同的晶粒特性。
5.根据权利要求4所述的影像显示系统，其特征在于：
该开关薄膜晶体管包括形成于该基板上的一缓冲层，以及形成于该缓冲层上的该第一多晶硅层；以及
该驱动薄膜晶体管包括形成于该基板上的该缓冲层，形成于该缓冲层上的该导热层，形成于该导热层上的该隔离层，以及形成于该隔离层上的该第二多晶硅层。
6.根据权利要求4所述的影像显示系统，其特征在于：该第一多晶硅层与该第二多晶硅层具有不同的晶粒结构。
7.根据权利要求4所述的影像显示系统，其特征在于：该第一多晶硅层的晶粒尺寸大于该第二多晶硅层的晶粒尺寸。
8.根据权利要求4所述的影像显示系统，其特征在于：该影像显示系统还包括一光感测组件，位于该基板的第二区域上，其中该光感测组件包括该第二多晶硅层，且该导热层用以反射照在该光感测组件上的光线。
9.根据权利要求4所述的影像显示系统，其特征在于：该影像显示系统还包括一电容，位于该基板的第二区域上，其中该导热层是作为该电容的一电极。
10.根据权利要求4所述的影像显示系统，用于行动电话、数码相机、个人数字助理、笔记本计算机、台式计算机、电视、车用显示器、全球定位系统、航空用显示器、数字相框(digital photo frame)、以及便携式DVD播放机。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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