[发明专利]三通阀入口总成

权利要求书

1.气体传输设备，包括：

歧管体，其配置为在该气体传输设备中建立流体流动路 径；

水平入口，其在歧管体的第一侧连接到该歧管体、与该 流体流动路径流体连通并且配置为接受供应气体；

气动阀，其在气动阀的第一端连接到该歧管体，配置为 防止对流体流动未经允许的激活，该气动阀与该流体流动路径 和水平入口流体连通；

放气阀，其连接到该歧管体、与该流体流动路径流体连 通并邻近该气动阀设置；

垂直放气口，其在垂直放气口的第一端连接到该歧管体， 该垂直放气口设在该放气阀和该气动阀之间，并且在垂直放气 口的第二端具有净化气体输入/输出连接件，

其中该水平入口垂直于该垂直放气口设置；以及

其中该气动阀进一步包括连接到该气动阀的第二端的拨 动开关，所述拨动开关包括拉杆，所述拉杆设在激活区域和非 激活区域之一中，其中当所述拉杆设在所述激活区域中时，所 述气动阀被激活，以及其中当所述拉杆设在所述非激活区域中 时，所述气动阀被关闭。

2.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括在歧管体的第二侧 连接到该歧管体的质量流量控制器。

3.根据权利要求1所述的设备，其中该拨动开关进一步包括防止 激活机构，其中所述防止激活机构配置为防止在没有至少绕过 所述防止激活机构的闭锁功能的情况下将所述拉杆从所述非 激活区域重新设置到所述激活区域。

4.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括在该气动阀的第一 端附近连接到该气动阀的测试端口。

5.根据权利要求4所述的设备，其中该测试端口是VCR阀门。

6.气体传输设备，包括：

歧管体，其配置为在该气体传输设备中建立流体流动路 径；

气动阀，其在气动阀的第一端连接到该歧管体以防止对 流体流动未经允许的激活，该气动阀与该流体流动路径流体连 通；

水平入口，其靠近该歧管体的第一侧连接到该气动阀并 配置为接受供应气体；

放气阀，其连接到该歧管体、与该流体流动路径流体连 通并邻近该气动阀设置；

垂直放气口，其在垂直放气口的第一端连接到该歧管体， 该垂直放气口设在该放气阀和该气动阀之间，并且在垂直放气 口的第二端具有净化气体输入/输出连接件；

其中该气动阀进一步包括连接到该气动阀的第二端的拨 动开关，所述拨动开关包括拉杆，所述拉杆设在激活区域和非 激活区域之一中，其中当所述拉杆设在所述激活区域中时，所 述气动阀被激活，以及其中当所述拉杆设在所述非激活区域中 时，所述气动阀被关闭。

7.根据权利要求6所述的设备，其进一步包括在歧管体的第二侧 连接到该歧管体的质量流量控制器。

8.根据权利要求6所述的设备，其中该拨动开关进一步包括防止 激活机构，其中所述防止激活机构配置为防止在没有至少绕过 所述防止激活机构的闭锁功能的情况下将所述拉杆从所述非 激活区域重新设置到所述激活区域。

9.根据权利要求6所述的设备，进一步包括设在该气动阀和该水 平入口之间的测试端口。

10.根据权利要求9所述的设备，其中该测试端口是VCR阀门。

11.根据权利要求6所述的设备，进一步包括设在该气动阀上的测 试端口。