[发明专利]多晶硅的冶金提纯方法无效
申请号: | 200810105851.7 | 申请日: | 2008-05-04 |
公开(公告)号: | CN101318656A | 公开(公告)日: | 2008-12-10 |
发明(设计)人: | 陈红雨;罗绮雯;李核;叶其辉 | 申请(专利权)人: | 华南师范大学 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037;C30B29/06 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵镇勇 |
地址: | 510006广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 冶金 提纯 方法 | ||
1.一种多晶硅的冶金提纯方法,其特征在于,包括步骤:
首先进行造渣处理,向金属硅中加入碱性造渣剂并混合后,在Ar惰性气体1000~1600℃的环境中处理20~30分钟,所述碱性造渣剂与金属硅的质量比为0.15~0.25;
然后,将经过造渣处理后的金属硅磨成粉,并进行去油处理;
之后,将进行去油处理后的硅粉进行酸浸处理;
所述的碱性造渣剂为Na2O-CaO-CaF2-SiO2,所述碱性造渣剂中各组分所占的质量份分别为:Na2O 5~15份;CaO 15~25份;CaF25~15份;SiO255~65份。
2.根据权利要求1所述的多晶硅的冶金提纯方法,其特征在于,所述的硅粉的粒度为100~300目。
3.根据权利要求1所述的多晶硅的冶金提纯方法,其特征在于,所述的去油处理包括:
首先将经过造渣处理后的硅粉用稀氨水或H2O2溶液处理,然后在乙醇溶液中浸泡,再用清水洗涤。
4.根据权利要求1所述的多晶硅的冶金提纯方法,其特征在于,所述的酸浸处理包括以下处理中的一种或多种:稀HCl处理、氢氟酸处理、浓盐酸处理。
5.根据权利要求1所述的多晶硅的冶金提纯方法,其特征在于,所述的酸浸处理包括氧化性酸处理,所述的氧化性酸包括以下一种或多种:
王水、浓H2SO4与浓HNO3体积比2∶1的混合液、浓HNO3与H2O2体积比1∶1的混合液。
6.根据权利要求4所述的多晶硅的冶金提纯方法,其特征在于,所述的氢氟酸处理的过程中还加入络合剂,所述络合剂与所述硅粉的质量比为1∶8~12,所述氢氟酸的浓度为0.1~0.8mol/L。
7.根据权利要求6所述的多晶硅的冶金提纯方法,其特征在于,所述的络合剂为甘露醇或甘油中的至少一种,所述络合剂的质量浓度为0.25%。
8.根据权利要求4所述的多晶硅的冶金提纯方法,其特征在于,所述每一种酸浸处理的时间大于或等于2小时,所述酸浸处理的温度范围是60℃-80℃;
所述酸浸处理过程中的每一步酸浸处理完成后,都将所述硅粉用去离子水清洗,并进行分离、烘干;烘干过程在真空干燥箱中进行,真空度控制在0.9Mpa~1Mpa。
9.根据权利要求8所述的多晶硅的冶金提纯方法,其特征在于,所述酸浸处理的装置为磁力搅拌器或超声波振荡器中的至少一种,所述酸浸处理过程中的固液质量比为1∶8~12;所述酸浸处理完成后,用定向凝固的方法将所述硅粉熔炼成硅锭。
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