[发明专利]铜及其合金表面耐蚀的磷酸锆类化合物薄膜及其制备方法

权利要求书

1、一种铜及其合金表面耐蚀的磷酸锆类化合物薄膜，其特征在于，磷酸锆类化合物薄膜是生长在铜及其合金表面上的薄膜，该磷酸锆类化合物是阳离子型层状化合物，每层都是由95％以上的在同一平面的Zr原子，以及将Zr原子夹在中间的上下两层磷酸根及其衍生物构成；薄膜是由平板状磷酸锆类化合物沿着与基板垂直的方向生长而得到；薄膜厚度在0.8～20μm之间，该薄膜具有疏水性，其与水滴的接触角在110～147°；

2、一种制备权利要求1所述的磷酸锆类化合物薄膜的方法，其特征在于，工艺步骤为：

a.将铜或铜合金分别用去乙醇和丙酮超声清洗5～12min，以去除表面的杂质和油污，然后用质量浓度1～5％的稀硫酸浸泡，除去表面的氧化层；

b.将ZrOCl₂·8H₂O溶于5～20ml去离子水中，并加入2～15ml的浓HF溶液，控制[F]/[Zr]＝2～30；

将上述ZrOCl₂溶液滴加至0.01～1mol/L苯膦酸溶液中混合均匀，控制[C₆H₅PO₃H₂]/[Zr]＝2～10；

c.把预处理好的铜或者铜合金基体悬置于反应溶液中，在60～150℃下反应0.5～72小时，取出基片，用乙醇溶液漂洗后，在室温下干燥，得到磷酸锆类化合物薄膜。

3、按照权利要求2所述的方法，其特征在于，步骤B中[F]/[Zr]为4～20，[C₆H₅PO₃H₂]/[Zr]为2～8。

4、按照权利要求2所述的方法，其特征在于，步骤C中的反应温度为70～150℃，反应时间是0.5～48小时。