[发明专利]转移方法、转移设备以及制造有机发光元件的方法

权利要求书

1.一种转移方法，包括以下步骤：

设置转移基板和受体基板，使得它们彼此面对，在所述转移基板上设置有转移层，而在所述受体基板中布置有多个区域，以及

通过从所述转移基板侧发射辐射射线，将所述转移层转移到所述多个区域，

其中所述辐射射线成形为带状，并且在所述辐射射线的长轴方向上中心部分中的短轴宽度设定为大于端部中的短轴宽度。

2.一种转移方法，包括以下步骤：

设置转移基板和受体基板，使得它们彼此面对，在所述转移基板上设置有转移层，而在所述受体基板中布置有多个区域，并且

通过从所述转移基板侧发射辐射射线，将所述转移层转移到所述多个区域，

其中所述辐射射线成形为带状，并且在所述辐射射线的长轴方向上中心部分中的强度峰值设定为小于端部中的强度峰值。

3.根据权利要求2所述的转移方法，其中所述辐射射线经由具有对应于所述多个区域设置的开口的掩模发射。

4.一种转移设备，用于通过用辐射射线辐射转移基板将形成在所述转移基板上的转移层转移到受体基板，所述转移设备包括：

光学机构，用于发射所述辐射射线到所述转移基板，

其中所述光学机构包括：

光源，用于发射所述辐射射线，

照明透镜，用于使所述辐射射线成形为带状，

辐射射线分束器，用于将通过所述照明透镜成形为带状的所述辐射射线分束成沿所述辐射射线的长轴方向的多个区域，和

成像透镜，用于将被所述辐射射线分束器分束的所述辐射射线在所述转移基板上形成图像，以及

所述成像透镜构造为使得中心部分中距焦点的偏移大于端部中距焦点的偏移。

5.根据权利要求4所述的转移设备，还包括用于检测所述转移基板上的位置的位置检测器，

其中根据所述位置检测器检测的位置，所述光学机构扫描所述转移基板中的每个区域。

6.根据权利要求5所述的转移设备，还包括用于检测所述成像透镜距所述转移基板的高度的高度检测器，

其中所述成像透镜可沿着所述高度的方向移动，并且所述焦点距所述转移基板的高度根据所述高度检测器检测的高度设定为常数。

7.根据权利要求5所述的转移设备，其中所述受体基板通过布置多个像素获得，并且

所述光学机构沿着所述像素的布置方向扫描所述受体基板。

8.根据权利要求5所述的转移设备，其中对于所述受体基板的像素阵列中的不同像素阵列提供多个所述光学机构。

9.根据权利要求4所述的转移设备，其中所述辐射射线分束器的中心部分中提供的开口中的光透过率设定为低于端部中提供的开口中的光透过率。

10.一种制造有机发光元件的方法，所述有机发光元件在基板上具有红有机发光区域、绿有机发光区域和蓝有机发光区域，所述方法包括以下步骤：

设置转移基板和装置基板，使得它们彼此面对，在所述转移基板上设置有包含发光材料的转移层，并且在所述装置基板中布置有多个装置形成区域；以及

通过从所述转移基板侧发射辐射射线，将所述转移层转移到所述多个装置形成区域，

其中所述辐射射线成形为带状，并且在所述辐射射线的长轴方向上中心部分中的短轴宽度设定为大于端部中的短轴宽度。

11.一种制造有机发光元件的方法，所述有机发光元件在基板上具有红有机发光区域、绿有机发光区域和蓝有机发光区域，所述方法包括以下步骤：

设置转移基板和装置基板，使得它们彼此面对，在所述转移基板上设置有包含发光材料的转移层，并且在所述装置基板中布置有多个装置形成区域；以及

通过从所述转移基板侧发射辐射射线，将所述转移层转移到所述多个装置形成区域，

其中所述辐射射线成形为带状，并且在所述辐射射线的长轴方向上中心部分中的强度峰值设定为小于端部中的强度峰值。