[发明专利]放电灯保持机构

说明书

技术领域

本发明涉及放电灯保持机构，尤其涉及安装到灯座的安装作业困难的大型放电灯的放电灯保持机构。

背景技术

近年来，在半导体或液晶的曝光、其它的细微加工领域，作为照相平板印刷的光源，利用使用短电弧放电灯的曝光技术。

照相平板印刷的光源可使用高效放射光掩模具有感度的波长365nm(i线)的光的放电灯，或者在液晶或者印刷基板的曝光中，可使用放射波长350nm-450nm的光的放电灯。放电灯封入有水银，作为发光物质，并封入有氩、氙等稀有气体作为启动用气体。

光源装置除了具有应曝光的面积变大以外，还具有处理时间(容许能力)缩短的倾向，作为光源的放电灯也为了增加输入而具有使曝光量增加的倾向。

但是，灯输入的增大使得灯在物理性上大型化，组装到反射镜上的组装作业更为复杂化。尤其是灯大型化时，在尺寸上或者重量上都会增大对操作者的负担。

图14是表示使用上述放电灯的光源装置。

光源装置是在灯罩100中，具备放电灯10、反射镜20及灯座5而构成。反射镜20为凹面形状，将上侧开口21朝着上部设置，反射镜20的下侧开口部22的下方设有灯座5，其安装在灯座固定台30上。反射镜20中，安装有灯头4的放电灯10竖立在垂直方向地安装。安装放电灯10是从反射镜20的下侧开口部22首先通过导线15，随后插入放电灯10，在反射镜20的内部空间以单手保持，同时另一只手在反射镜20的外侧，对于安装在放电灯10的灯头4螺纹固定灯座5。

在上述构造的情况下，从反射镜20的下侧开口部22通过导线15时，会有伤及反射镜20的危险。并且，必须以单手保持着放电灯10，同时以另一只手在反射镜20的外侧进行上述螺纹固定，因此非常地繁杂。

[专利文献1]日本实公平7-13171号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种即使是大型化的放电灯，也可以容易固定放电灯的放电灯用保持机构。

为了解决上述课题，本发明所涉及放电灯用保持机构由至少在一方端部安装有灯头的放电灯；以及将该放电灯竖立在垂直方向上并可以拆装地保持的灯座构成，

上述放电灯的灯头，具备：沿着放电灯的管轴延伸而被放电灯的端部包覆地安装的灯头侧基体部；正交于管轴的方向上的宽度形成得比该灯头侧基体部小、从该灯头侧基体部前端面突出，并朝着上述灯座沿着管轴延伸的柱形的灯头侧临时固定机构；以及形成在该灯头侧基体部的前端侧外周面上的灯头侧最终固定机构，

上述灯座，具备：具有与上述灯头侧临时固定机构卡合用的、沿着管轴延伸的凹部构成的灯座侧临时固定机构的灯座侧基体部；以及与上述灯头侧最终固定机构卡合用的、设于该灯座侧基体部的外周面上，以该灯座侧基体部为中心在周方向旋转的筒状灯座侧最终固定机构，

上述灯头与上述灯座通过上述灯头侧临时固定机构与上述灯座侧临时固定机构的卡合得以临时固定，并通过上述灯头侧最终固定机构与上述灯座侧最终固定机构的卡合得以最终固定，其特征在于：

上述灯头侧临时固定机构，在管轴方向上分离的两处，形成有基端侧嵌合部与前端侧嵌合部，并且在该基端侧嵌合部与该前端侧嵌合部之间形成有灯头侧插入部，

上述灯座侧临时固定机构，在灯座中心轴方向上分离的两处，形成有与上述基端侧嵌合部与上述前端侧嵌合部分别嵌合用的基端侧嵌合用凹部与前端侧嵌合用凹部，并且在该基端侧嵌合用凹部与该前端侧嵌合用凹部之间形成有用于插入上述灯头侧插入部的灯座侧被插入部，

上述灯头与上述灯座满足以下的关系1表示的关系：

关系1：

以上述灯座侧被插入部的正交于灯座中心轴的方向的宽度与上述灯头侧插入部的正交于管轴的方向的宽度的差为D，

以上述基端侧嵌合用凹部的正交于灯座中心轴的方向的宽度与上述基端侧嵌合部的正交于管轴的方向的宽度的差为E，

以上述前端侧嵌合用凹部的正交于灯座中心轴的方向的宽度与上述前端侧嵌合部的正交于管轴的方向的宽度的差为F时，

D比E及F都大。

另外，本发明的放电灯用保持机构除了上述的关系1以外，满足以下关系2表示的关系。

关系2：

以上述基端侧嵌合用凹部的正交于灯座中心轴的方向的宽度与上述前端侧嵌合部的正交于管轴的方向的宽度的差为A，

以上述基端侧嵌合用凹部的正交于灯座中心轴的方向的宽度与上述灯头侧插入部的正交于管轴的方向的宽度的差为B，

以上述灯座侧被插入部的正交于灯座中心轴的方向的宽度与上述前端侧嵌合部的正交于管轴的方向的宽度的差为C时，