[发明专利]基板搬运装置

权利要求书

1.一种基板搬运装置，从被搬入至搬入台的基板的上方下降而进行 预备位置决定，且保持上述基板而搬运至曝光台，

包括：预备位置决定机构，押动被载置于上述搬入台上的基板的端 面，进行预备位置决定；以及搬运机构，将该预备位置决定机构藉由支 持本体支持，且将完成了预备位置决定的基板吸着保持而搬运至上述曝 光台；

其中上述预备位置决定机构，具有被支持在上述支持本体的驱动装 置、以及藉由该驱动装置驱动而押动上述基板的端面的押动装置；

上述押动装置，具有分别抵接在上述基板的相互对面的一端面以及 另一端面的第一抵接销以及第二抵接销、以及分别支持该第一抵接销以 及第二抵接销的第一支持体以及第二支持体；

上述驱动装置，具有圆筒形的磁性轴体、将该磁性轴体在轴周围转 动的转动装置、以及与藉由该转动装置而转动的磁性轴体的周面相对而 设置的直线状的第一纵长磁性体和第二纵长磁性体；

上述第一纵长磁性体支持上述第一支持体，上述第二纵长磁性体支 持上述第二支持体。

2.如权利要求1所述的基板搬运装置，其中上述第一支持体和上述 第二支持体包括：移动机构，将上述第一抵接销和上述第二抵接销，从 和上述基板的端面相同的高度或比上述基板的端面下方的高度，移动至 比上述基板端面上方的高度。

3.如权利要求1或2所述的基板搬运装置，其中上述搬运机构具有 将设置于上述支持本体下方的藉由吸着垫吸着保持上述基板的吸着保持 板、以及从该吸着保持板的相对端面向中央以直线状的所定长度的缺口 而形成的缺口沟，

上述第一抵接销及上述第二抵接销沿着上述缺口沟移动。

4.如权利要求1所述的基板搬运装置，其中上述第一纵长磁性体和 上述第二纵长磁性体，将上述磁性轴体作为中央而被配置在其一方和另 一方，藉由上述磁性轴体的旋转，分别向相反方向直线地移动。

5.如权利要求1所述的基板搬运装置，其中上述驱动装置，在上述 第一纵长磁性体和上述第二纵长磁性体，具有分别平行地设置的从动轴，

上述第一支持体，藉由上述第一纵长磁性体和上述从动轴被支持而 往复移动，

上述第二支持体，藉由上述第二纵长磁性体和上述从动轴被支持而 往复移动。