[发明专利]基板搬运装置

说明书

技术领域

本发明有关于一种将电子电路基板等的基板进行预备位置决定 (pre-alignment)且从搬入台搬运至曝光台的基板搬运装置。

背景技术

已知，在电子电路基板等的基板曝光所定的图案时，藉由曝光装置 将基板从搬入位置(搬入台)搬运至曝光位置(曝光台)时，例如，以下所示 的搬运装置被使用(例如，专利文献1)。此搬运装置将被载置于搬入位置 的基板的上面藉由吸着保持部吸着保持，将吸着保持部沿着移动轨道移 动至曝光位置，藉由交付被保持在吸着保持部的基板至曝光位置，而进 行基板的搬运。

又，基板被投入至搬入位置后，对此基板进行预备位置决定(预对准 (pre-alignment))的搬运装置被揭露(例如，专利文献2)。此搬运装置包 括：搬运滚子，载置基板而在搬运方向移动；以及定心单元，在上述搬 运滚子之间，具有将该搬运滚子上的基板的端面押动于X方向和Y方向 的销。

又，有关对于被搬运至曝光位置的基板进行预备位置决定的装置也 被提出(例如，专利文献3)。此装置包括：曝光桌，将基板在曝光位置载 置；光学传感器，量测被载置于此曝光桌上的基板的位置；驱动机构， 基于藉由此光学传感器被量测的基板的位置，将上述曝光桌在和光罩整 合之前移动至整合位置。因此，在进行基板预备位置决定时，基板不和 其它构件接触摩擦。

专利文献1：日本特开平06-345279号公报

专利文献2：日本特开平06-348025号公报

专利文献3：日本特开平05-326361号公报

然而，有关在已知的搬入台和曝光台中的基板的搬运路径中、将预 备位置决定和搬运一同进行的上述技术，存在以下所示的问题点。

将基板的预备位置决定在曝光台进行的构成中，由于基板的位置不 在容许范围的话无法进行下一作业，所以在搬入台侧进行是所希望的。

又，在搬入台进行基板的预备位置决定的构成中，由于被设置为在 搬运滚子下方设置的销从搬运滚子之间突出的预备位置决定机构的构 成，对应于基板将基板押动的销的设置位置的调整是费事的。

发明内容

本发明有鉴于上述问题点而提出，提供一种基板搬运装置，不用将 基板的预备位置决定机构设置于搬入台或曝光台，却可在搬运至曝光台 之前进行基板的预备位置决定，且销的设置位置调整也简化作为课题。

为了解决上述课题，有关本发明的基板搬运装置为从被搬入至搬入 台的基板的上方下降而进行预备位置决定、且保持上述基板而搬运至曝 光台的基板搬运装置，其构成包括：预备位置决定机构，押动被载置于 上述搬入台上的基板的端面，进行预备位置决定；以及搬运机构，将此 预备位置决定机构藉由支持本体支持，且将完成预备位置决定的基板吸 着保持而搬运至上述曝光台；其中上述预备位置决定机构具有被支持在 上述支持本体的驱动装置、以及藉由此驱动装置驱动而押动上述基板的 端面的押动装置；上述押动装置，具有分别抵接在上述基板的相互对面 的一端面以及另一端面的第一抵接销以及第二抵接销、以及分别支持此 第一抵接销以及第二抵接销的第一支持体以及第二支持体；上述驱动装 置，具有圆筒形的磁性轴体、将此磁性轴体在轴周围转动的转动装置、 以及与藉由此转动装置转动的磁性轴体的周面相对而设置的直线状的第 一纵长磁性体和第二纵长磁性体；上述第一纵长磁性体支持上述第一支 持体，上述第二纵长磁性体支持上述第二支持体。

藉由此构成，基板搬运装置，基板被搬入至搬入台的话，搬运机构 藉由具备的升降机构下降至基板侧，将驱动装置的磁性轴体藉由转动装 置在一方向旋转，将第一纵长磁性体和第二纵长磁性体在直线方向移动。 基板搬运装置，藉由两纵长磁性体移动，被支持在两支持体的第一抵接 销和第二抵接销押动基板的端面，进行基板的预备位置决定。基板搬运 装置，完成了基板的预备位置决定的话，将基板吸着保持而藉由升降机 构上升，沿着搬运轨道，从搬入台移动至曝光台，将保持的基板搬运至 曝光台。

又，在上述基板搬运装置中，上述第一支持体和上述第二支持体的 构成包括：移动机构，将上述第一抵接销和上述第二抵接销，从与上述 基板的端面高度相同或比上述基板的端面下方的高度，移动至比上述基 板端面上方的高度。

藉由此构成，基板搬运装置，将基板W交付于曝光台时，第一抵接 销和第二抵接销的下端(前端)位于比保持搬运机构的基板的面上方，可平 顺地载置基板于曝光台上。