[发明专利]印刷电路板的检查装置和检查方法

权利要求书

1.一种印刷电路板的检查装置，其具有印刷电路板把持装置和探测器 移动装置，所述印刷电路板把持装置把持印刷电路板，所述探测器移动装 置使多个检查用探测器与被所述印刷电路板把持装置把持的印刷电路板的 一面相对向并使其分别独立地移动，通过使所述多个检查用探测器与所述 印刷电路板的图案接触来进行所述印刷电路板的电气检查，其中，包括：

摄像装置，其具有在使所述多个检查用探测器相互接近而使所述多个 检查用探测器的前端部分别位于规定范围内的状态下、能够对所述多个检 查用探测器的前端部进行摄像的摄像视野；

误差检测机构，在使所述多个检查用探测器的前端部分别对应于多个 规定位置的状态下，所述误差检测机构由所述摄像装置拍摄到的图像检测 所述多个规定位置与所述多个检查用探测器的前端部之间的位置误差，所 述多个规定位置分别与所述多个检测用探测器的前端部对应而预先设定在 所述摄像视野内；

校正值算出机构，其基于所述误差检测机构检测出的位置误差来算出 所述多个检查用探测器的位置校正值，

在使所述多个检查用探测器与所述印刷电路板的图案接触而进行电气 检查时，在考虑所述校正值算出机构算出的位置校正值的基础上，使所述 多个检查用探测器移动。

2.如权利要求1所述的印刷电路板的检查装置，其中，可改变所述多 个检查用探测器前端部的位置而将所述多个检查用探测器分别安装在对应 的探测器移动装置上，由此，能够使所述多个检查用探测器的前端部位于 规定范围内。

3.如权利要求1所述的印刷电路板的检查装置，其中，在使所述多个 检查用探测器移动的各个探测器移动装置上设置相互的高度不同的导轨 部，通过将支承所述检查用探测器的支承部件在至少相互的一部分能够重 合的状态下可移动地安装在所述导轨部，能够使所述多个检查用探测器的 前端部位于所述规定范围内。

4.如权利要求1所述的印刷电路板的检查装置，其中，所述摄像装置 通过摄像装置移动装置而能够移动。

5.一种印刷电路板的检查装置，其具有印刷电路板把持装置和探测器 移动装置，所述印刷电路板把持装置把持印刷电路板，所述探测器移动装 置使多个检查用探测器与被所述印刷电路板把持装置把持的印刷电路板的 一面相对向并使其分别独立地移动，通过使所述多个检查用探测器与所述 印刷电路板的图案接触来进行所述印刷电路板的电气检查，其中，包括：

摄像装置，其具有在使所述多个检查用探测器中的一个以上的检查用 探测器的前端部位于所述印刷电路板的图案上规定范围内的状态下、能够 分别对所述印刷电路板上的图案和所述一个以上的检查用探测器的前端部 进行摄像的摄像视野；

误差检测机构，在使所述一个以上的检查用探测器的前端部分别对应 于一个以上的规定位置的状态下，所述误差检测机构由所述摄像装置拍摄 到的图像检测所述一个以上的规定位置与所述一个以上的检查用探测器的 前端部之间的位置误差，所述一个以上的规定位置分别与所述一个以上的 检测用探测器的前端部对应而预先设定在所述印刷电路板的图案上规定范 围内；

校正值算出机构，其基于所述误差检测机构检测出的位置误差来算出 所述多个检查用探测器相对于所述印刷电路板的图案上规定位置的各个位 置校正值，

在使所述多个检查用探测器与所述印刷电路板的图案接触而进行电气 检查时，在考虑所述校正值算出机构算出的位置校正值的基础上，使所述 多个检查用探测器移动。

6.如权利要求5所述的印刷电路板的检查装置，其中，可改变所述多 个检查用探测器前端部的位置而将所述多个检查用探测器分别安装在对应 的探测器移动装置上，由此，能够使所述多个检查用探测器的前端部位于 规定范围内。

7.如权利要求5所述的印刷电路板的检查装置，其中，在使所述多个 检查用探测器移动的各个探测器移动装置上设置相互的高度不同的导轨 部，通过将支承所述检查用探测器的支承部件在至少相互的一部分能够重 合的状态下可移动地安装在所述导轨部，能够使所述多个检查用探测器的 前端部位于所述规定范围内。