[发明专利]显影液控制系统

权利要求书

1.一种显影液控制系统，包括有通过管道与显影液储槽单元(11)连通的 化学和水供应单元(14)，及用于检测所述显影液储槽单元(11)内显影循环 液中显影剂浓度与光刻胶浓度的显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测单 元(12)，其特征在于，在连通所述化学和水供应单元(14)与所述显影液储 槽单元(11)之间的管道上增设有控制单元(20)，所述控制单元(20)分别 通过管道及信号数据传输线与所述显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测 单元(12)连通，对所述显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测单元(12) 进行校准处理，并根据所述显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测单元(12) 反馈的信息控制所述化学和水供应单元(14)向所述显影液储槽单元(11)输 入去离子水或/和浓纯显影液；所述控制单元(20)包括有浓度转换器(26)， 联排气压开关(30)，用于控制标准纯显影液的压力控制阀门(27)、用于控 制浓纯显影液的压力控制阀门(28)、用于控制去离子水的压力控制阀门(29)， 第一流量计(34)、第二流量计(35)、第三流量计(36)、手动控制阀(40) 及用于连通去离子水的管道(17)、用于连通浓纯显影液的管道(18)、用于 连通标准纯显影液的管道(19)、用于引出标准浓度显影液的管道(23)；所 述联排气压开关(30)通过信号数据传输线与所述浓度转换器(26)连接，同 时通过第一气体管道(31)、第二气体管道(32)、第三气体管道(33)分别 与用于控制标准纯显影液的压力控制阀门(27)、用于控制浓纯显影液的压力 控制阀门(28)、用于控制去离子水的压力控制阀门(29)连通，并根据所述述 浓度转换器(26)传送的信号控制用于控制标准纯显影液的压力控制阀门(27)、 用于控制浓纯显影液的压力控制阀门(28)、用于控制去离子水的压力控制阀 门(29)，所述用于控制标准纯显影液的压力控制阀门(27)经所述第一流量 计(34)后分别与所述显影液储槽单元(11)、显影剂浓度检测单元(13)及 紫外吸光检测单元(12)连通，并在所述显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸 光检测单元(12)与所述第一流量计(34)之间设置所述手动控制阀(40)。

2.根据权利要求1所述的显影液控制系统，其特征在于，所述控制系统还 包括有设在所述显影液储槽单元(11)内的液位传感器，所述液位传感器与所 述控制单元(20)经信号数据传输线信号连接，并控制所述化学和水供应单元 (14)向所述显影液储槽单元(11)输入标准纯显影液。

3.根据权利要求1所述的显影液控制系统，其特征在于，所述用于控制去 离子水的压力控制阀门(29)与用于控制浓纯显影液的压力控制阀门(28)经 所述第三流量计(36)和第二流量计(35)后与所述显影液储槽单元(11)连 通。

4.根据权利要求1所述的显影液控制系统，其特征在于，所述第一流量计 (34)经用于引出标准浓度显影液的管道(23)的两条支路(24)和(25)分 别与所述显影剂浓度检测单元(13)及紫外吸光检测单元(12)连通。

5.根据权利要求1或2所述的显影液控制系统，其特征在于，所述显影剂 浓度检测单元(13)采用显影剂浓度计，所述紫外吸光检测单元(12)采用紫 外吸光检测仪。