[发明专利]显影液控制系统

说明书

技术领域

本发明关于一种显影液的控制系统，更具体地说，关于一种能对显影剂浓度和光刻胶浓度进行实时测定和调节，并可对显影剂浓度检测单元及紫外吸光检测单元进行校准的显影液控制系统。 

背景技术

目前薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，以下简称：TFT-LCD)在生产中大体分为阵列，成盒，模块三大工序，而在阵列工序中又大体分为成膜，光刻，蚀刻三大工艺。其中，光刻工艺是在玻璃基板上涂上光刻胶，再进行曝光和显影，而在显影过程中，对显影液浓度的控制非常重要，也就是说，显影液浓度的不稳定将导致产品的不合格，而目前为了控制显影液的浓度，一般都设置有显影液控制系统(Developer ControlSystem，以下简称：DCS)，如图1所示，现有的显影液控制系统包括有显影液储槽单元11、显影剂浓度检测单元13和紫外吸光检测单元12，其中显影液储槽单元11中储存有供循环使用的显影液，里面含有碱性显影剂和从玻璃基板上溶解掉的光刻胶，这种含有光刻胶的显影液以下简称显影循环液，只含碱性显影剂的显影液以下简称为纯显影液。显影液储槽单元11中的显影剂浓度由显影剂浓度检测单元13来测定，显影液储槽单元11中的光刻胶浓度由紫外吸光检测单元12来测定，显影液储槽单元11中的显影循环液通过入口管道15分别供给显影剂浓度检测单元13和紫外吸光检测单元12，测定完成后由两条支路输出的显影循环液都通过出口管道16送回显影液储槽单元11中。现有的DCS系统中虽然设置了显影剂浓度检测单元13和紫外吸光检测单元12，但是由显影剂浓度检测单元13和紫外吸光检测单元12所测到的显影剂浓度和光刻胶浓度的数据并没有传送给位于远端的化学和水供应单元14，化学和水供应单元14不能直接根据显影剂浓度检测单元13和紫外吸光检测单元12所测得的数据来调控显影液储槽单元11中的液体浓度，只起着供应液体的功能，也就是说只能通过手动方式进行调节，或者定期更换新的液体。

由此可见，现有的DCS虽然能对显影循环液中的显影剂浓度和光刻胶浓度进行实时测定，但是，由于在显影剂浓度检测单元13和紫外吸光检测单元12与化学和水供应单元14之间设有设置实时传送信息的设备，因此无法实现对显影剂浓度和光刻胶浓度进行即时调节控制的问题，另一方面还存在缺乏对显影剂浓度检测单元13和紫外吸光检测单元12的测定准确性进行监控和校准的问题，具体地说，一旦显影剂浓度检测单元13和紫外吸光检测单元12测试不准确就很容易导致产品出现重大不合格的问题。 

发明内容

本发明的目的在于提供一种显影液控制系统，利用该控制系统可以对显影剂浓度和光刻胶浓度的进行实时测定和调节，并可显影剂浓度检测单元和紫外吸光检测单元进行校准。 

本发明中的显影液控制系统包括有通过管道与显影液储槽单元连通的化学和水供应单元，及用于检测所述显影液储槽单元内显影循环液中显影剂浓度与光刻胶浓度的显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元，在连通所述化学和水供应单元与所述显影液储槽单元之间的管道上增设有控制单元，所述控制单元分别通过管道及信号数据传输线与所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元连通，对所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元进行校准处理，并根据所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元反馈的信息控制所述化学和水供应单元向所述显影液储槽单元输入去离子水或/和浓纯显影液；。 

所述控制系统还包括有设在所述显影液储槽单元内的液位传感器，所述液位传感器与所述控制单元经信号数据传输线信号连接，并控制所述化学和水供应单元向所述显影液储槽单元输入标准纯显影液。 

所述控制单元包括有浓度转换器，联排气压开关，压力控制阀门，流量计、手动控制阀及用于连通的管道。 

所述联排气压开关通过信号数据传输线与所述浓度转换器连接，同时通过气体管道分别与所述压力控制阀门连通，并根据所述述浓度转换器传送的信号控制所述压力控制阀门。 

所述用于控制去离子水与浓纯显影液的压力控制阀门经所述流量计后与所述显影液储槽单元连通。 

所述液位传感器与所述浓度转换器通过信号数据传输线连通。 

所述用于控制标准纯显影液的压力控制阀门经所述流量计后分别与所述显影液储槽单元、显影剂浓度检测单元及紫外吸光检测单元连通，并在所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元与所述流量计之间设置所述手动控制阀。