[发明专利]一种磷化镓多晶合成方法

权利要求书

1.一种磷化镓多晶合成方法，其特征在于：该方法采用中高频加热方式 合成磷化镓，包括步骤：

步骤1：在合成炉室内充入氮气5～10巴后加热，并使合成炉室内氮气的 压力维持在20～30巴的范围内；

步骤2：将磷炉升温至480～520℃的范围内，将后炉升温至700～800℃的 范围内，将感应线圈中通入的电流上升到40～150A的范围内，感应线圈的输 出电压控制在5～15V且频率调制到10～20KHz的范围内，以使感应区域升温；

步骤3：确认磷炉、后炉的温度升到设定温度范围内并稳定，以及感应线 圈中的电流、感应线圈的输出电压及其频率达到设定范围内并稳定后，以6.5 厘米/小时的速度在感应线圈内移动石英反应管，同时以10～35℃/小时的升温 速率对磷炉进行升温，以实施磷化镓的合成过程；

步骤4：经过4小时的磷化镓合成过程后，缓慢将感应线圈频率从最高值 降低到零，将合成炉室卸压。

2.根据权利要求1所述的磷化镓多晶合成方法，其特征在于：

所述磷化镓多晶合成方法还包括：确认合成炉室卸压后，打开炉盖，取出 石英反应管，将石英反应管放入水中打破，取出石墨管，并锯开石墨管，将石 墨管内合成的磷化镓多晶锭表面打磨光亮。

3.根据权利要求1所述的磷化镓多晶合成方法，其特征在于：

将所述感应线圈中的电流上升到40～150A所用时间为50～60分钟。

4.根据权利要求1所述的磷化镓多晶合成方法，其特征在于：

将所述感应线圈频率从最高值降低到零所用时间为小于1小时。