[发明专利]液晶显示器面板和掩模板有效
申请号: | 200810119136.9 | 申请日: | 2008-08-27 |
公开(公告)号: | CN101661220A | 公开(公告)日: | 2010-03-03 |
发明(设计)人: | 吕敬 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F1/14 | 分类号: | G03F1/14;G03F1/00;G02F1/1362;G02F1/133 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘 芳 |
地址: | 100176北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液晶显示器 面板 模板 | ||
1.一种采用掩模板制造的液晶显示器面板,包括阵列基板和彩膜基板, 其特征在于:在所述阵列基板有效区域的像素区域内形成有对位精度测量检 查标记,在所述彩膜基板上与所述对位精度测量检查标记对应的位置形成有 黑矩阵,所述黑矩阵用于遮挡所述对位精度测量检查标记;所述对位精度测 量检查标记用于保证分步曝光的对接区域的对位精度;
所述阵列基板的对位精度测量检查标记是采用所述掩模板形成的,所述 掩模板包括重复使用区域和非重复使用区域,在所述重复使用区域和非重复使 用区域的有效区域中设置有对位精度测量检查标记,所述对位精度测量检查标 记用于保证分步曝光的对接区域的对位精度;
所述在重复使用区域和非重复使用区域的有效区域中设置有对位精度测 量检查标记具体为:在一非重复使用区域的有效区域的右边缘区域、另一非 重复使用区域的有效区域的左边缘区域、重复使用区域的有效区域的左边缘 区域和右边缘区域设置有对位精度测量检查标记;
所述对位精度测量检查标记的个数为一个以上;所述对位精度测量检查 标记包括总体倾斜标记、缝合对接标记以及层间覆盖标记。
2.根据权利要求1所述的液晶显示器面板,其特征在于,所述阵列基 板的有效区域包括由所述掩模板分步曝光形成的多个曝光区域,在每两个相 邻曝光区域的对接区域的像素区域内形成有对位精度测量检查标记。
3.根据权利要求1所述的液晶显示器面板,其特征在于,所述对位精 度测量检查标记的个数为一个以上,设置在一个以上像素区域内。
4.根据权利要求3所述的液晶显示器面板,其特征在于,所述对位精 度测量检查标记包括总体倾斜标记、缝合对接标记以及层间覆盖标记。
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G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
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