[发明专利]材料成膜装置、制备方法及其制备的有机电致发光器件

权利要求书

1.一种材料成膜装置制备薄膜的方法，用以制备有机电致发光器件，其特征在于，包括如下 步骤：

(1)开启电阻加热蒸镀源，制备所述有机电致发光器件的阴极薄膜第一膜层，

(2)关闭电阻加热蒸镀源，开启电子束加热蒸镀源，制备所述有机电致发光器件的阴极 薄膜第二膜层，

所述薄膜为同一材料，所述薄膜材料为Al、Ag、Cu、Mg、Ca或其合金。

2.根据权利要求1所述的制备薄膜的方法，其特征在于，所述步骤(2)为关闭电阻加热蒸 镀源，开启磁控溅射源，制备所述有机电致发光器件的薄膜第二膜层。

3.根据权利要求1所述的制备薄膜的方法，其特征在于，所述步骤(2)中关闭电阻加热蒸 镀源后，开启电子束加热蒸镀源前，需将电阻加热蒸镀源上的挡板关闭，阻止该蒸镀源内 所述有机电致发光器件的材料的蒸发。

4.一种采用如权利要求1或2所述的制备方法制备的有机电致发光器件，其特征在于，所述 器件阴极为双层结构——第一膜层及第二膜层，所述器件阴极第一膜层为电阻加热蒸镀源 制备，器件阴极第二膜层为电子束加热蒸镀源制备或磁控溅射源制备。