[发明专利]压电部件及其制造方法

权利要求书

1、一种具有压电元件的压电部件，压电元件具有压电基片、形成在所述的压电基片上的至少一个振荡部分以及连接在所述的振荡部分上的元件布线部分，其特征在于，由感光性树脂制成的侧面侧中空部分形成层和盖面侧中空部分形成层围绕所述的振荡部分的顶面和侧面，形成空隙，以提供中空部分，还具有：由感光性树脂制成的绝缘保护层，覆盖并保护所述的元件布线部分除其电极构成部分之外的顶面，所述的侧面侧中空部分形成层的所述的侧面和所述的盖面侧中空部分形成层的侧面；由感光性树脂制成的绝缘层，覆盖并密封所述的绝缘保护层的整个表面；贯通电极，设置在穿过所述的绝缘层形成的通孔中以连接所述的元件布线电极部分；外部电极端子，形成在所述的绝缘层的同一外表面上以连接到所述的贯通电极。

2、一种具有压电元件的压电部件，压电元件具有压电基片、形成在所述的压电基片上的至少一个振荡部分以及连接在所述的振荡部分上的元件布线部分，其特征在于，由感光性树脂制成的侧面侧中空部分形成层和盖面侧中空部分形成层围绕所述的振荡部分的顶面和侧面，形成间隙以提供中空部分，其特征还在于，其还包括：由感光性树脂制成的绝缘保护层，覆盖并保护所述的元件布线部分除电极构成部分之外的顶面，所述的侧面侧中空部分形成层的侧面和所述的盖面侧中空部分形成层的侧面；由感光性树脂制成的绝缘层，覆盖并密封所述的绝缘保护层的整个表面；贯通电极，设置在穿过所述的绝缘层形成的通孔中以连接到所述的元件布线电极部分；阻抗电路元件，形成在所述的绝缘层的同一外表面上；由感光性树脂制成的另一绝缘层，形成在所述的电路元件层上；另一贯通电极，穿过形成在所述的电路元件层上的所述的绝缘层，所述的阻抗电路元件层和所述的另一绝缘层被层压数次，在所述的另一绝缘层最后一层的最顶面上具有连接到所述的贯通电极的外部电极端子。

3、根据权利要求1或权利要求2任一项所述的压电部件，其中所述的压电元件为表面声波元件、晶体振荡器、薄膜腔声谐振器或微机电系统。

4、根据权利要求1或权利要求2任一项所述的压电部件，其中所述的压电基片由LiTaO₃、LiNbO₃、石英、Si和兰宝石中的任一种制成。

5、根据权利要求1或权利要求2任一项所述的压电部件，其中，覆盖所述的压电元件的中空部分的数目被配置为比所述的多个压电元件的数目多一个或者至少与之相等。

6、根据权利要求1或权利要求2任一项所述的压电部件，其中所述的中空部分形成层由通过苯并环丁烯、热固性含氟聚合物、感光性环氧树脂、或聚酰胺制成的有机材料、或这些材料的合成材料构成。

7、根据权利要求1或权利要求2任一项所述的压电部件，其中所述的绝缘保护膜由Si、SiO₂、Al₃O₃、Si₃N₄或金刚石中的任一种制成。

8、根据权利要求1或权利要求2任一项所述的压电部件，其中所述的元件布线由主要成分为Al、Cu、Au、Cr、Ni、Ti、W、V、Ta、Ag、In和Sn中的任一种的材料构成，或是通过这些材料的混合物或多层配置。

9、根据权利要求1或权利要求2任一项所述的压电部件，其中所述的绝缘层由通过苯并环丁烯、热固性含氟聚合物、感光性环氧树脂、或聚酰胺制成的有机材料、或这些材料的合成材料构成。

10、一种压电部件，其中所述的绝缘层的厚度大于或等于1000埃。

11、根据权利要求1或权利要求2任一项所述的压电部件，其中由导电材料制成的层形成在所述的压电基片的背面。

12、根据权利要求1或权利要求2任一项所述的压电部件，其中由非导电材料制成的层形成在所述的压电基片的背面。

13、根据权利要求1或权利要求2任一项所述的压电部件，其中多个所述的元件布线部分形成在所述的压电基片上，所有所述的元件布线部分被布线以具有相同的电位，当形成所述的贯通电极时，所述的贯通电极和所述的元件布线部分通过电解电镀连接。

14、根据权利要求1或权利要求2任一项所述的压电部件，其中所述的阻抗电路包括电感电路、电导电路或通过这些电路的组合配置的电路。