[发明专利]光刻工艺中将磁头长形条连接起来的方法及磁头制造方法

权利要求书

1.一种在光刻工艺中将磁头长形条连接起来的方法，包括如下步骤：

(1)形成具有粘性表面的支撑装置；

(2)提供一组具有用于形成空气承载面的第一表面及与该第一表面相反的第二表面的磁头长形条，并将所述一组磁头长形条以第一表面面对粘性表面的方式固定到所述支撑装置；

(3)加热其上固定有磁头长形条的支撑装置，并按压所述磁头长形条的第二表面将所述磁头长形条压入所述粘性表面中；

(4)借助封装胶把所述磁头长形条互相连接起来；

(5)提供一个载体并将所述载体固定到所述磁头长形条的第二表面上；

(6)移除所述支撑装置。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤(1)中支撑装置的形成包括如下步骤：

(a)提供一个具有开孔的框架；

(b)提供具有作为所述粘性表面的粘性层及与该粘性层叠压在一起的非粘性层的薄膜，并将所述薄膜以所述粘性层面向框架的方式覆盖于框架；

(c)提供一个真空移送夹具，该真空移送夹具具有基板及从基板突出的突台，所述突台中具有一组真空孔；

(d)将所述真空移送夹具装配到框架上，使所述突台收容在框架的开孔内且与所述薄膜的非粘性层接触。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述步骤(1)后进一步包括步骤：将突台与非粘性层间的空间抽成真空而产生空气压力，从而将薄膜压在所述突台上。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤(3)包括：

(a)提供一加热板并将支撑装置放置在所述加热板上；

(b)提供一容器并将所述容器以容器底面和所述磁头长形条的第二表面相接触的方式放置在所述支撑装置上；

(c)一段时间后，依次从所述加热板上移走所述容器和支撑装置，并将支撑装置的温度冷却到室温。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：所述容器为装满液体的密封容器，所述容器的底面上有一弹性薄膜，所述弹性薄膜和所述磁头长形条的第二表面相接触。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：在将所述容器放置在所述支撑装置上前，把所述容器预热到与所述加热板一样高的温度。

7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：所述加热板的温度范围为50～110℃。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤(4)包括：

(a)提供一个具有开口的限胶板，并将该限胶板固定到所述薄膜的粘性层，使磁头长形条从所述开口暴露出来；

(b)将封装胶填入所述限胶板的开口内；

(c)碾压填入限胶板开口内的封装胶，使所述封装胶流到磁头长形条之间的空间内；

(d)固化所述封装胶，从而使所有磁头长形条互相连接起来。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤(5)包括：

(a)提供一种快速固化胶并将快速固化胶涂到所述磁头长形条的第二表面；

(b)借助所述快速固化胶将所述载体固定到所述磁头长形条的第二表面。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于：所述磁头长形条的第二表面与载体之间夹设有用于吸收所述快速固化胶产生的收缩应力的弹性层。

11.一种磁头制造方法，包括如下步骤：

(1)形成具有粘性表面的支撑装置；

(2)提供一组具有用于形成空气承载面的第一表面及与该第一表面相反的第二表面的磁头长形条，并将所述一组磁头长形条以第一表面面对粘性表面的方式固定到所述支撑装置；

(3)加热其上固定有磁头长形条的支撑装置，并按压所述磁头长形条的第二表面将所述磁头长形条压入所述粘性表面中；

(4)借助封装胶把所述磁头长形条互相连接起来；

(5)提供一个载体并所述载体其固定到所述磁头长形条的第二表面上；

(6)移除所述支撑装置；

(7)蚀刻所述磁头长形条的第一表面以形成空气承载面；

(8)将所述磁头长形条切割成单独的磁头。