[发明专利]光刻工艺中将磁头长形条连接起来的方法及磁头制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于信息记录磁盘驱动器内的磁头的制造方法，具体地，本发明涉及一种在制造磁头的光刻工艺(photolithography process)中将磁头长形条(slider row bar)连接起来的方法。

背景技术

一种常见的信息存储设备是磁盘驱动系统，其使用磁性媒介来存储数据及设置于该磁性媒介上方的可移动读写头来选择性地从磁性媒介比如磁盘上读取数据或将数据写在磁性媒介上。

图1a所示为传统的磁盘驱动器200，磁盘101安装在主轴马达102上并由其旋转。音圈马达臂104上承载有磁头折片组合100。所述磁头折片组合100包括具有读写传感器的磁头103。一音圈马达控制音圈马达臂104的运动，进而控制磁头103在磁盘101表面磁轨之间的移动，最终实现磁头103的读写传感器在磁盘101上数据的读写。在运行状态时，包含读写传感器的磁头103与磁盘101之间形成空气动力性接触，并产生升力。该升力与大小相等方向相反的由磁头折片组合100的悬臂施加的弹力互相平衡，进而导致在马达臂104的整个径向行程中，旋转的磁盘101的表面上方形成并维持预定的飞行高度。

图1b展示了图1a所示磁头从底部观察的立体图。如图所示，该磁头103的一个侧边上形成磁性读写头116，用于实现磁头相对于磁盘101的数据读写操作。所述磁头103具有面向磁盘101的空气承载面(air bear surface，ABS)117。当磁盘驱动器运行时，所述磁头103的空气承载面117与高速旋转的磁盘101之间产生空气动力学接触，从而使磁头103动态地悬浮于磁盘101上方而实现数据读写操作。

为使磁头相对于磁盘顺利地进行数据读写操作，磁头必须具有良好的飞行稳定性，即，当磁头飞行于磁盘上方时，磁头的飞行高度必须保持恒定的数值。假如磁头的飞行稳定性差，则飞行高度不定，即有时飞行高度变得较高而有时该飞行高度变得较低。如果飞行高度太高，则磁头可能无法顺利地完成读写操作；如果飞行高度太低，则磁头可能刮伤磁盘，导致磁盘及/或磁头损坏。

可以理解地，磁头空气承载面的加工精度是影响上述飞行稳定性的一个关键因素。这里，简要介绍磁头空气承载面的形成工艺。一般来讲，磁头的空气承载面是依次经过光刻工艺及真空蚀刻工艺(vacuum etching process)而形成的。首先，在空气承载面形成面(ABS-forming surface)上覆盖光阻层(photo-resistcoating)；然后，通过曝光而将空气承载面图案(ABS pattern)转印到上述光阻层，形成与空气承载面图案(ABS pattern)相对应的可移除区域；接下来，通过显影(developing)工序将所述可移除区域移除；最后，借助离子束蚀刻所述空气承载面形成面上未被光阻层覆盖的部分，从而形成空气承载面。

本技术领域中，磁头加工流程通常是针对一组磁头长形条进行的，其中每个磁头长形条可构造多个磁头体。根据不同的产品类型，一个磁头长形条可制成30-100个磁头体。这些磁头长形条通过粘结剂互相封装在一起而形成长形条组合。当加工完毕后，这些长形条组合互相分离，每个长形条被切割形成单独磁头。

图2a-2b展示了用于形成磁头的磁头长形条。如图所示，磁头长形条2的宽度为W，厚度为T。所述磁头长形条2具有空气承载面形成面3。图2c展示了用于承载上述磁头长形条2的载体1。

图3a-3b展示了一种传统磁头长形条连接方法中长形条组合的形成.图3a展示了一组封装在一起并且粘结在载体1上的磁头长形条2。图3b展示了图3a中沿Z-Z线的剖视图。参考图3b，所述磁头长形条2之间的间隙(未标号)内形成一组胶凹陷30。这些胶凹陷30是在上述封装胶9固化过程中由于胶的自然收缩而引起的。参考图3a-3b，所述磁头长形条2的空气承载面形成面3与胶凹陷30共同构成了磁头长形条组合的基本表面，在该基本表面上将涂设光阻层。