[发明专利]有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物有效
申请号: | 200810127247.4 | 申请日: | 2008-06-30 |
公开(公告)号: | CN101334587A | 公开(公告)日: | 2008-12-31 |
发明(设计)人: | 崔相角;金柄郁;尹赫敏;吕泰勋;崔守延;李浩真;郑大众;丘冀赫;尹柱豹 | 申请(专利权)人: | 东进世美肯株式会社 |
主分类号: | G03F7/008 | 分类号: | G03F7/008;G03F7/012;G03F7/028;H01L51/05 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 丁香兰 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 薄膜 晶体 管用 感光性 树脂 组合 | ||
1.一种有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物,其特征在于,所述组 合物含有:
a)100重量份的换算成聚苯乙烯时的重均分子量为5,000~30,000、 且玻璃化转变温度Tg或熔融温度为90℃~140℃的丙烯酸系共聚物,其 中所述玻璃化转变温度Tg或熔融温度不等于120℃;
b)5重量份~50重量份的1,2-醌二叠氮化合物;和
c)使所述a)+b)的固体组分含量达到10重量%~50重量%的溶剂, 该溶剂的沸点为90℃~150℃,基于ASTM D3539-87利用壳式薄膜蒸发 计测定蒸发速率时,将乙酸正丁酯的蒸发速率设定为1时,该溶剂的蒸 发速率为0.3~1.0。
2.如权利要求1所述的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物,其特 征在于,所述溶剂为选自由乙酸正丁酯、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇甲 醚组成的组中的一种以上的溶剂。
3.一种有机薄膜晶体管的图案形成方法,其特征在于,该方法利用 权利要求1或2所述的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物。
4.如权利要求3所述的有机薄膜晶体管的图案形成方法,其特征在 于,在形成所述图案时固化温度为80℃~150℃。
5.一种有机薄膜晶体管,其特征在于,所述有机薄膜晶体管包含权 利要求1或2所述的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的固化物。
6.如权利要求5所述的有机薄膜晶体管,其特征在于,所述固化物 为有机薄膜晶体管的绝缘膜或保护膜。
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