[发明专利]有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物

说明书

技术领域

本发明涉及有机薄膜晶体管(Organic Thin Film Transistor，OTFT)用 感光性树脂组合物，特别是涉及如下有机薄膜晶体管用感光性树脂组合 物，该组合物应用于如有机薄膜晶体管、利用该有机薄膜晶体管的柔性 显示屏和OLED(有机发光二极管)这样的需要低温固化工序的显示屏的 层间绝缘膜和保护膜时，能够在热处理工序时将残余溶剂的量降至最少， 同时因固化度高而确保耐热性和耐化学稳定性。

背景技术

最近，随着显示屏的大型化，其销售价格有持续降低的趋势，由此 人们不断努力降低其成本，并且对利用有机物质的元件的开发方兴未艾。

最近，由于显示屏的低价格化，因此与利用现有的无机半导体制作 出的元件相比较，对有机薄膜晶体管的开发在成本方面是有利的，同时 利用有机薄膜晶体管能够赋予元件柔软性这样的优点，可以预期其在柔 性显示元件的实现中将起到核心的作用。但是，在现有的200℃以上的高 温工序中将有机薄膜晶体管应用于柔性显示元件制造工序时，通道部所 使用的有机半导体(Organic Semicondutor)的迁移率急剧降低，出现塑料基 板热变形这样的问题。

为了解决这样的问题，需要150℃以下的低温工序，但使用现有的 TFT-LCD所使用的层间绝缘膜用感光性树脂组合物时，会出现一些问题。 其原因是，现有的绝缘膜是基于在200℃以上的高温下进行固化的原理设 计的，而当固化温度降低到150℃以下时，膜内未挥发的残留的溶剂的量 增多，该残留溶剂是通过交联作用基团间的空间位阻而使固化度降低的 主要因素。这样，在有机绝缘膜的固化度较低的情况下，会出现如下问 题：在导电性薄膜(ITO)的蒸镀、取向膜的涂布和固化等各个阶段的热处 理工序中耐热性降低，不仅如此，特别是因在后续工序中使用的溶剂的 表面浸透导致溶胀(swelling)和粘结力降低这样的耐化学特性劣化。

发明内容

为了解决上述现有技术的问题，本发明的目的在于提供有机薄膜晶 体管用感光性树脂组合物和利用了该感光性树脂组合物的图案形成方 法，该组合物应用于如有机薄膜晶体管、利用该有机薄膜晶体管的柔性 显示屏和OLED这样的需要低温固化工序的显示屏的层间绝缘膜和保护 膜时，能够在热处理工序时将残余溶剂的量降至最少，同时因固化度高 而能够确保耐热性和耐化学稳定性。

并且，本发明提供含有有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的固化 物的有机薄膜晶体管。

为实现上述目的，本发明提供一种有机薄膜晶体管用感光性树脂组 合物，其特征在于，在有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物中含有：

a)玻璃化转变温度(Tg)或熔融温度为90℃～140℃的丙烯酸系共聚 物、线型酚醛树脂或聚酰亚胺树脂；

b)1，2-醌二叠氮化合物；和

c)溶剂，该溶剂的沸点为90℃～150℃，并且将n-BA(乙酸正丁酯) 的蒸发速率设定为1时，该溶剂的蒸发速率为0.3～1.0。

优选上述有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物含有：

a)100重量份玻璃化转变温度(Tg)或熔融温度为90℃～140℃的丙烯 酸系共聚物、线型酚醛树脂或聚酰亚胺树脂；

b)5重量份～50重量份1，2-醌二叠氮化合物；和

c)使上述a)+b)的固体组分含量达到10重量％～50重量％的溶剂， 该溶剂的沸点为90℃～150℃，并且将n-BA(乙酸正丁酯)的蒸发速率设 定为1时，该溶剂的蒸发速率为0.3～1.0。

并且，本发明提供利用了上述有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物 的有机薄膜晶体管的图案形成方法。

并且，本发明提供含有上述有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的 固化物的有机薄膜晶体管。

本发明的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物在低温固化条件下固 化度优异，特别是由于在90℃～150℃的低温工序中固化度高而具有优异 的耐热性和耐化学特性，因此其作为需要低温工序的有机薄膜晶体管的 层间绝缘膜是适合的，不仅如此，其还能够用作利用了该有机薄膜晶体 管的柔性显示屏和OLED用层间绝缘膜和保护膜。

具体实施方式

下面，详细说明本发明