[发明专利]排气捕集装置无效
| 申请号： | 200810127266.7 | 申请日： | 2005-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN101371958A | 公开（公告）日： | 2009-02-25 |
| 发明（设计）人： | 辻德彦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B01D45/08 | 分类号： | B01D45/08;C23C16/44;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘春成 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 排气 集装 | ||
【权利要求书】：
1. 一种排气捕集装置，从通过气体的排气路径的排出气体中捕集析出物，其特征在于，
沿着所述排气路径串联配置多个形成有使排出气体通过其各自的内部的排气通路的排气捕集部分；
所述多个排气捕集部分包含配置在排出气体的流动方向的上游侧的第一排气捕集部分、和配置在下游侧的第二排气捕集部分；
在所述第一和第二排气捕集部分上分别设有冲突板；
所述第二排气捕集部分的排气通路的轴线和冲突板形成的角度，比所述第一排气捕集部分的排气通路的轴线与冲突板形成的角度大。
2. 如权利要求1所述的排气捕集装置，其特征在于，
所述第一和第二排气捕集部分以一个卷绕在另一个的外侧上的方式配置，在所述第一排气捕集部分和所述第二排气捕集部分之间，设有使排出气体的流动方向反向的反转通路部分。
3. 如权利要求2所述的排气捕集装置，其特征在于，
所述反转通路部分以遍及所述第一和第二排气捕集部分的整个周边的方式将它们连接。
4. 如权利要求1～3中任一项所述的排气捕集装置，其特征在于，
配置所述冲突板，使得气体螺旋状地在配置有该冲突板的排气通路内流动。
5. 一种气体反应装置，其特征在于，具有
气体供给部分、使从该气体供给部分供给的气体反应的气体反应室、所述气体供给部分或所述气体反应室的排气路径、和配置在该排气路径中途的权利要求1～4中任一项所述的排气捕集装置。
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