[发明专利]用于沉积多组分金属氧化物薄膜的第2族金属前体

权利要求书

1.一种含金属的络合物，其由选自下列基团组成的结构表示：

其中M选自Mg、Ca、Sr和Ba；R¹和R³独立地选自由具有1至10个碳原 子的直链或支链的烷基、烷氧基烷基、氟烷基、具有4至12个碳原子的环脂基 和芳基组成的组；R²选自由氢、具有1至10个碳原子的直链或支链的烷基、氟 烷基、烷氧基、具有4至12个碳原子的环脂基和芳基组成的组；L₁选自由有机 酰胺类RCONR′R″组成的组，其中R和R′是直链或支链的具有1至10个碳原子 的烷基，并且它们可以相连而形成环状基团(CH₂)_q，其中q为4-6，R″选自具 有1至4个碳原子的烷基和具有4至8个碳原子的环烷基；L₂选自由有机酰胺 类RCONR′R″组成的组，其中R和R′独立地是直链或支链的具有1至10个碳原 子的烷基，并且它们可以相连而形成环状基团(CH₂)_q，其中q为4-6；n是选自 在1和4之间的数值；m选自在0和4之间的数值，p选自1和2；

其中M选自Mg、Ca、Sr和Ba；R¹和R⁴独立地选自由具有1至10个碳原 子的直链或支链的烷基、烷氧基烷基、氟烷基、具有4至12个碳原子的环脂基 和芳基组成的组；R²和R³选自由氢、具有1至10个碳原子的直链或支链的烷 基、烷氧基烷基、氟烷基、烷氧基、具有4至12个碳原子的环脂基和芳基组成 的组；L选自由有机酰胺类RCONR′R″组成的组，其中R和R′独立地是直链或 支链的具有1至10个碳原子的烷基，并且它们可以相连而形成环状基团(CH₂)_q， 其中q为4-6，R″选自具有1至4个碳原子的烷基和具有4至8个碳原子的环 烷基；n是选自在0和4之间的数值；m选自在1和4之间的数值，p选自1和 2；当p＝2时，μ-L指示L经由μL的氧原子与两个金属M相连；和

其中M选自Mg、Ca、Sr和Ba；R¹和R³独立地选自由具有1至10个碳原 子的直链或支链的烷基、烷氧基烷基、氟烷基、具有4至12个碳原子的环脂基 和芳基组成的组；R²选自由氢、具有1至10个碳原子的直链或支链的烷基、氟 烷基、烷氧基、具有4至12个碳原子的环脂基和芳基组成的组；L选自由有机 酰胺类RCONR′R″组成的组，其中R和R′独立地是直链或支链的具有1至10个 碳原子的烷基，并且它们可以相连而形成环状基团(CH₂)_q，其中q为4-6，R″ 选自具有1至4个碳原子的烷基和具有4至8个碳原子的环烷基；n是选自在0 和4之间的数值；m选自在1和4之间的数值，p选自1和2；当p＝2时，μ-L 指示L经由μL的氧原子与两个金属M相连。

2.权利要求1的含金属的络合物，其中它由结构A表示，其中M选自钙、 锶、钡和其混合物。

3.权利要求2的含金属的络合物，其中L₁和L₂选自N-甲基吡咯烷酮 (NMP)、N，N-二乙基甲酰胺(DEF)、N，N-二乙基乙酰胺(DEAC)、N，N-二甲 基乙酰胺(DMAC)、N-环己基2-吡咯烷酮、H₂O和ROH。

4.权利要求2的含金属的络合物，其中R¹和R³选自叔丁基和叔戊基；R²选自氢、甲基和乙基；以及R⁴选自异丙基、叔丁基、仲丁基、叔戊基和其混合 物。

5.权利要求2的含金属的络合物，其中M是锶；R¹和R³各自是叔丁基， R²是氢，L₁和L₂各自是N-甲基-吡咯烷酮，n＝1.5，m＝0.5，和p＝2。