[发明专利]用于制造薄膜层叠件的设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于通过在带状柔性基片上形成多个薄膜来制造诸如薄膜光 电转换元件等薄膜层叠件的设备。

背景技术

通常，是用高度刚性的基片作为诸如半导体薄膜等薄膜层叠件的基片。但是， 用树脂之类的材料形成的柔性基片也用作例如用于太阳能电池等的光电转换元件 的基片，这是因为方便，诸如重量轻、易于搬运或通过批量生产可降低成本。

作为用这样的柔性基片制造薄膜层叠件的设备，已经研制出了这样一种薄膜形 成设备(例如见JP-A-2005-72408)，其适于使带状柔性基片穿过多个接连地布置的 薄膜形成室，重复地在每个薄膜形成室在停止状态进行在该柔性基片上形成薄膜的 工作，并随后把该柔性基片传送到下一薄膜形成室的位置，而在该柔性基片上层叠 多个具有不同性质的薄膜。

作为如上所述的薄膜形成设备，有这样一种型式，它以带状柔性基片的宽度方 向处在水平方向的方式保持带状柔性基片，并且在水平方向输送带状柔性基片的同 时形成薄膜(换言之，就是将被形成上薄膜的带状柔性基片的表面是处于水平方向 的一种状态)；以及还有这样一种型式，它以带状柔性基片的宽度方向处于垂向的 方式保持带状柔性基片，并且在水平方向输送带状柔性基片的同时形成薄膜(换言 之，就是将被形成上薄膜的带状柔性基片的表面是处于垂向的一种状态)。与前一 种型式相比，后一种型式的优点是，基片的表面几乎不会受到沾染。但是，随着薄 膜形成室数目的增加，容易出现这样的问题，就是，由于带状柔性基片的重力或拉 长，带状柔性基片的表面会出现皱纹，带状柔性基片会在宽度方向产生蛇形弯曲， 或带状柔性基片会下垂弯曲。

为了解决这样的问题，已经提出在位于若干薄膜形成室的当中的两个薄膜形成 室之间布置中间室并设置边缘位置控制(EPC)辊，该辊子在中间室内沿着基片在 宽度方向的整个表面接触基片表面。但是，由于薄膜形成一般是在相当高的温度下 进行，那么就有这样的问题，在用不锈钢制成的EPC辊子是布置在两个薄膜形成 室之间时，基片会被迅速地冷却而产生皱纹。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的是提供一种用于制造薄膜层叠件的设备，其即使 在带状柔性基片被以其宽度方向处于垂向的方式沿着水平方向输送长距离时也能 防止带状柔性基片的表面产生皱纹，防止带状柔性基片的宽度方向的曲折，以及防 止带状柔性基片的下垂弯曲，因而能够以很高的精度保持带状柔性基片的垂向位 置。

为了达到上述目的，按照本发明的第一方面，提供一种用于通过在带状柔性基 片的表面上层叠多个薄膜来制造薄膜层叠件的设备，它包括：基片输送装置，用于 以带状柔性基片的宽度方向处于垂向的方式沿着水平方向输送带状柔性基片；沿着 带状柔性基片的被输送方向接连地布置的多个薄膜形成室，用于在带状柔性基片的 表面上形成薄膜；以及布置在多个薄膜形成室之间的至少一对上夹持辊，用于夹紧 带状柔性基片的上边缘部分。

由于采用这种在多个薄膜形成室之间有至少一对可夹紧带状柔性基片的上边 缘部分的夹持辊的结构布置，即使带状柔性基片被穿过多个薄膜形成室输送长距 离，也能防止带状柔性基片上产生皱纹，防止带状柔性基片出现宽度方向的曲折， 以及防止带状柔性基片产生下垂弯曲。

本发明的用于制造薄膜层叠件的设备优选地包括两对或多对用于夹紧带状柔 性基片的上边缘部分的夹持辊，它们接连地安装在位于多个薄膜形成室的当中的两 个薄膜形成室之间。

按照本发明的第二方面，提供一种用于通过在带状柔性基片的表面上层叠多个 薄膜来制造薄膜层叠件的设备，它包括：基片输送装置，用于以带状柔性基片的宽 度方向处于垂向的方式沿着水平方向输送带状柔性基片；沿着带状柔性基片的被输 送方向接连地布置的多个薄膜形成室，用于在带状柔性基片的表面上形成薄膜；以 及布置在多个薄膜形成室之间的多对上夹持辊，用于夹紧带状柔性基片的上边缘部 分。

在这种结构布置中，多对上夹持辊能够分散地支承带状柔性基片的重量，因而 带状柔性基片可被稳定地输送。

优选的是，各对上夹持辊安装成各个辊子的转动方向相对于带状柔性基片的被 输送方向向上倾斜。