[发明专利]研磨装置及其组合方法

说明书

技术领域

本发明有关于一种研磨装置与组合方法，特别是一种研磨彩色滤光片的研磨装置与组合方法。

背景技术

彩色滤光片的制作是于基板上涂布不同颜色的彩色光阻，例如红绿蓝色光阻，以取得特定波长的光线。光阻经过制程形成预定的结构及排列之后，会于滤光片表面形成角断差及光阻残渣，角断差及光阻残渣必须去除才能使彩色滤光片维持良好光学特性。降低角断差及去除光阻残渣的方法最常采用的为化学机械抛光法(Chemical Mechanical Polishing，CMP)。化学机械抛光法针对预抛光研磨的材料选择特定的研磨液(Slurry)，于研磨装置研磨过程中持续加入研磨液以达成精密研磨抛光。

参阅图1所示，研磨装置主要包含一定盘1、一研磨垫2、数个挡块3、一正压气垫4及一逆压气垫5。研磨垫固定于定盘1的一面，而正压气垫4压制于定盘1的另一面。夹具6对正压气垫4施压并以静摩擦力带动正压气垫4转动，使定盘1也被正压气垫4以静摩擦力带动而转动。如此一来研磨垫2即可旋转以研磨光阻。逆压气垫反向对定盘1施压，以调整研磨垫2对彩色滤光片的接触压力。挡块3用以限制定盘1于水平方向的振幅，由于挡块3与定盘1之间有间隙以及高度差的存在，使得研磨过程中挡块3与定盘1的碰撞，使定盘1边缘对正压气垫4产生剪切、切削的效果，导致正压气垫4破损而漏气，导致对定盘1施加压力的作用。每当发生此现象皆要停机更换气垫，造成产能降低以及成本增加。

因此，如何避免摩擦过程中正压气垫破损漏气而导致要停机更换气垫所造成的产能降低以及成本增加的问题，确为此相关研发领域所需迫切面临的课题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种研磨装置，其可降低正压气垫破损的机率。

本发明提出一种研磨装置，用以研磨待研磨件，研磨装置包含一定盘、一研磨垫、一挡块、一正压气垫及一垫片。定盘具有一受压面及一承载面，其中研磨垫固定于承载面，用以随定盘的旋转而研磨待研磨件。挡块设置于定盘的边缘外侧，用以限制定盘于水平方向的振幅。正压气垫压制于受压面，用以对定盘施压以推动定盘朝待研磨件移动。垫片设置于受压面与正压气垫间，且延伸覆盖至挡块的部分，以隔离正压气垫延伸于定盘边缘外的部分，使定盘边缘不嵌入正压气垫，从而降低正压气垫破损的机率。

本发明还提出另一种研磨装置，用以研磨一待研磨件，该研磨装置包含：

一定盘，具有一受压面及一承载面，且该受压面的边缘形成一导圆角；

一研磨垫，固定于该承载面；

一挡块，设置于该定盘的边缘外侧，其中该挡块的顶面靠近该定盘的边缘形成另一导圆角，且该定盘的受压面及该挡块的顶面位于同一水平面；

一正压气垫，压制于该受压面；

一垫片，设置于该受压面与该正压气垫间，且延伸覆盖至该挡块的部分；以及

一固定件，穿设该挡块并锁固于该定盘的边缘。

除了上述研磨装置，本发明还提出一种研磨装置的组合方法，依据此方法是先提供一定盘，并定义定盘的二侧面为一受压面及一承载面。接着固定研磨垫于承载面，并设置至少一挡块于定盘的边缘。设置正压气垫于受压面及挡块之上，使定盘边缘不嵌入正压气垫，从而降低正压气垫破损的机率。

本发明藉隔离正压气垫延伸于定盘边缘外的部分，使定盘边缘不嵌入正压气垫，降低正压气垫破损的机率，从而使得研磨装置持续运转时间增加，达到稳定产能及降低成本的作用。

附图说明

图1为现有技术的研磨装置的剖面示意图。

图2为本发明第一实施例的剖面示意图。

图3A及图3B为第一实施例的局部剖面示意图。

图4为第二实施例的局部剖面示意图。

图5为第三实施例的局部剖面示意图。

图6为第四实施例的局部剖面示意图。

图7为第五实施例的局部剖面示意图。

图8为第六实施例的局部剖面示意图。

图9为第七实施例的局部剖面示意图。

图10为第八实施例的局部剖面示意图。

图11为本发明的组合方法的流程图。

【主要组件符号说明】

1   定盘             2   研磨垫

3   挡块             4   正压气垫

5   逆压气垫         6   夹具

10  定盘             12  受压面

14  承载面           16  导圆角

20  研磨垫           30  挡块

32  导圆角           40  正压气垫