[发明专利]检查设备和方法有效

专利信息
申请号: 200810132340.4 申请日: 2008-07-11
公开(公告)号: CN101344491A 公开(公告)日: 2009-01-14
发明(设计)人: 吉川博志;齐藤谦治 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01B11/30
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所 代理人: 刘新宇;陈立航
地址: 日本东京都大*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 检查 设备 方法
【权利要求书】:

1.一种检查设备,包括:

拍摄图像获取单元,用于获取通过拍摄检查对象所获取的 拍摄图像;

获取单元,用于从所述拍摄图像中获取反射光相对于发射 到所述检查对象的照明光的入射角的强度分布不同的第一图像 区域和第二图像区域;以及

图像处理单元,用于对所述第一图像区域和所述第二图像 区域分别进行用于不同表面检查的图像处理。

2.根据权利要求1所述的检查设备,其特征在于,所述图 像处理单元对所述第一图像区域进行用于进行第一表面检查的 图像处理,并对所述第二图像区域进行用于进行第二表面检查 的图像处理。

3.根据权利要求1所述的检查设备,其特征在于,还包括:

传感器单元,用于拍摄所述检查对象;以及

照明单元,用于照明所述检查对象,

其中,所述获取单元基于所述检查对象的形状、所述照明 单元和所述传感器单元的相对位置,从所述拍摄图像中获取所 述第一图像区域和所述第二图像区域。

4.根据权利要求1所述的检查设备,其特征在于,还包括 阈值获取单元,所述阈值获取单元用于当沿垂直于检查对象表 面的方向照射照明光时,获取由所述检查对象的第一表面形状 产生的反射光的亮度与由所述检查对象的第二表面形状产生的 反射光的亮度的比例发生改变时的所述照明光与其反射光所形 成的角度作为阈值,

其中,所述获取单元基于所述阈值,从所述拍摄图像中获 取所述第一图像区域和所述第二图像区域。

5.根据权利要求4所述的检查设备,其特征在于,所述第 一图像区域是包括由所述第一表面形状产生的反射光比由所述 第二表面形状产生的反射光多的部分的区域,所述第二图像区 域是包括由所述第二表面形状产生的反射光比由所述第一表面 形状产生的反射光多的部分的区域。

6.根据权利要求5所述的检查设备,其特征在于,所述第 一表面形状是所述检查对象的表面的密度不均匀区域,以及

其中,所述第二表面形状是所述检查对象的表面形状的缺 陷。

7.根据权利要求1所述的检查设备,其特征在于,所述检 查对象包括圆柱形部分,以及

所述检查设备还包括用于使所述检查对象绕所述圆柱形部 分的中心轴旋转的驱动单元,

其中,每当所述驱动单元使所述检查对象旋转预定角度时, 所述拍摄图像获取单元获取所述拍摄图像。

8.根据权利要求1所述的检查设备,其特征在于,所述检 查对象包括球面部分,以及

所述检查设备还包括用于使所述检查对象倾斜的驱动单 元,

其中,每当所述驱动单元使所述检查对象倾斜预定角度时, 所述拍摄图像获取单元获取所述拍摄图像。

9.一种检查设备,包括:

拍摄图像获取单元,用于获取通过拍摄检查对象所获取的 拍摄图像;

获取单元,用于基于所述拍摄图像的亮度分布,获取反射 光相对于发射到所述检查对象的照明光的入射角的强度分布不 同的第一图像区域和第二图像区域;以及

图像处理单元,用于对所述第一图像区域和所述第二图像 区域分别进行用于进行不同表面检查的图像处理。

10.一种检查方法,包括:

获取通过拍摄检查对象所获取的拍摄图像;

从所述拍摄图像中获取反射光相对于发射到所述检查对象 的照明光的入射角的强度分布不同的第一图像区域和第二图像 区域;以及

对所述第一图像区域和所述第二图像区域分别进行用于不 同表面检查的图像处理。

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