[发明专利]检查设备和方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种进行用于执行检查对象的表面检查的处理 的检查设备及其方法。

背景技术

传统上，存在如下检查设备：该检查设备通过利用照明光 照射待检查的对象的表面并检测从该对象反射的光，来检测该 对象的表面形状。

通常，待检查对象的表面形状根据制造处理而不同。在要 检查多种类型的表面形状的情况下，必需提供对应于表面形状 的多个检查设备。否则，需要在一个检查设备中包括多个检测 单元。

日本特开平06-222013号公报讨论了一种包括三种照明单 元和两种成像单元的检查设备。日本特开平06-222013号公报中 讨论的这种检查设备通过在三种照明单元和两种成像单元之间 切换操作，来检测出现在待检查对象的表面上的三种表面形状， 即，划痕(scratch)、斑点(stain)和凸起(bulge)。

日本特开平06-222013号公报中讨论的检查设备改变摄像 条件，获取多个图像，并进行表面检查，以检测多种表面形状。 因此，根据传统技术必需获取多个成像条件下的多个图像，这 使得表面检查处理复杂。

发明内容

本发明涉及一种使得能够通过拍摄单个图像来进行多种类 型的表面检查的检查设备。

根据本发明的一个方面，提供一种检查设备，包括：拍摄 图像获取单元，用于获取通过拍摄检查对象所获取的拍摄图像； 获取单元，用于从所述拍摄图像中获取反射光相对于发射到所 述检查对象的照明光的入射角的强度分布不同的第一图像区域 和第二图像区域；以及图像处理单元，用于对所述第一图像区 域和所述第二图像区域分别进行用于不同表面检查的图像处 理。

根据本发明的另一方面，提供一种检查设备，包括：拍摄 图像获取单元，用于获取通过拍摄检查对象所获取的拍摄图像； 获取单元，用于基于所述拍摄图像的亮度分布，获取反射光相 对于发射到所述检查对象的照明光的入射角的强度分布不同的 第一图像区域和第二图像区域；以及图像处理单元，用于对所 述第一图像区域和所述第二图像区域分别进行用于进行不同表 面检查的图像处理。

根据本发明的又一方面，提供一种检查方法，包括：获取 通过拍摄检查对象所获取的拍摄图像；从所述拍摄图像中获取 反射光相对于发射到所述检查对象的照明光的入射角的强度分 布不同的第一图像区域和第二图像区域；以及对所述第一图像 区域和所述第二图像区域分别进行用于不同表面检查的图像处 理。

根据本发明的又一方面，提供一种计算机可读存储介质， 用于存储使计算机进行包括如下步骤的方法的指令的程序：获 取通过拍摄检查对象所获取的拍摄图像；从所述拍摄图像中获 取反射光相对于发射到所述检查对象的照明光的入射角的强度 分布不同的第一图像区域和第二图像区域；以及对所述第一图 像区域和所述第二图像区域分别进行用于不同表面检查的图像 处理。

通过以下参考附图对典型实施例的详细说明，本发明的其 它特征和方面将变得明显。

附图说明

包含在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出本发明 的典型实施例、特征和方面，并且和说明书一起用于解释本发 明的原理。

图1中的(A)和(B)示出根据本发明第一典型实施例的外观 检查设备的配置。

图2示出由照明单元发射的照明光的角度和从检查对象表 面反射的光的角度之间的关系。

图3是示出根据本发明第一典型实施例的处理的流程图。

图4示出根据本发明第一典型实施例的密度不均匀检查区 域(density nonuniformity inspection region)和缺陷部位检查区 域(defective site inspection region)。

图5A和图5B示出变角光度计(gonio-photometer)的配置。

图6示出由于微小的凹凸所产生的漫反射光与由于划痕或 附着灰尘所产生的漫反射光的比例。

图7示出检查对象的漫反射光曲线。

图8A和图8B示出照明光相对于检查对象倾斜的状态。

图9示出坐标位置y和yz平面内的照明光的倾斜ψ_yz之间的 关系。

图10是示出yz平面内的入射角ψ_yz相等的位置的图。