[发明专利]制造薄膜晶体管基板的方法和用在该基板中的感光组合物

权利要求书

1.一种制造薄膜晶体管基板的方法，该方法包括：

在绝缘基板上形成数据线路；

通过涂布感光组合物而在该数据线路上形成有机绝缘膜，其中该感光组 合物包含三元共聚物、基于100重量份该三元共聚物的5-100重量份的正型 感光剂、基于100重量份该三元共聚物的5-20重量份的增塑剂、以及基于 100重量份该感光组合物的50-90重量份的溶剂，其中该三元共聚物得自不 饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物，以及不饱和的含有环氧基团的化合 物和烯属化合物；

在该有机绝缘膜中图案化接触孔；和

在该有机绝缘膜中形成像素电极，该像素电极通过该接触孔与该数据线 路电连接。

2.权利要求1的方法，其中该三元共聚物通过以下形成：

将不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物，不饱和的含有环氧基团的 化合物以及烯属化合物共聚；和

除去未反应的单体。

3.权利要求2的方法，其中该不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物 为5-40重量份，该不饱和的含有环氧基团的化合物为10-70重量份，并且该 烯属化合物为5-70重量份，基于100重量份的该不饱和羧酸、不饱和羧酸 酐、或其混合物、不饱和的含有环氧基团的化合物和烯属化合物。

4.权利要求1的方法，其中在该有机绝缘膜中图案化接触孔包括：

使用掩模将该有机绝缘膜曝光；和

使该有机绝缘膜在显影剂溶液中显影。

5.权利要求4的方法，其中该有机绝缘膜的感光度为200-270毫焦耳/ 平方厘米(mJ/cm²)。

6.权利要求4的方法，其中该显影剂溶液包含0.1-10重量份的碱性化 合物和90-99.9重量份的水。

7.权利要求6的方法，其中该碱性化合物选自氢氧化钠、氢氧化钾、和 碳酸钠、乙胺、正丙胺、二乙胺、二正丙胺、三甲胺、甲基二乙基胺、二甲 基乙基胺、三乙胺、醇胺、二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺、氢氧 化四甲铵、氢氧化四乙铵、以及包含前述碱性化合物中的至少一种的组合。

8.一种感光组合物，其包含：

三元共聚物，其中该三元共聚物得自不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其 混合物，不饱和的含有环氧基团的化合物和烯属化合物；

5-100重量份的正型感光剂，基于100重量份的该三元共聚物；

5-20重量份的增塑剂，基于100重量份的该三元共聚物；和

50-90重量份的溶剂，基于100重量份的该感光组合物。

9.权利要求8的感光组合物，其中该三元共聚物的按聚苯乙烯折合的重 均分子量为5,000-30,000道尔顿。

10.权利要求8的感光组合物，其中该不饱和羧酸、该不饱和羧酸酐、 或其混合物包括选自丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸、富马酸、柠康酸、衣康 酸、以及不饱和二羧酸酐的化合物、或包含前述化合物中的至少一种的组合。

11.权利要求8的感光组合物，其中该不饱和的含有环氧基团的化合物 选自丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸缩水甘油酯、 α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸-β-甲基缩 水甘油酯、甲基丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、丙烯酸-β-乙基缩水甘油酯、甲 基丙烯酸-β-乙基缩水甘油酯、丙烯酸-3,4-环氧丁基酯、甲基丙烯酸-3,4-环氧 丁基酯、丙烯酸-6,7-环氧庚基酯、甲基丙烯酸-6,7-环氧庚基酯、α-乙基丙烯 酸-6,7-环氧庚基酯、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、 对乙烯基苄基缩水甘油醚、以及甲基丙烯酸3,4-环氧环己基酯、或包含前述 不饱和的含有环氧基团的化合物中的至少一种的组合。

12.权利要求8的感光组合物，其中该烯属化合物选自基于丙烯酸酯的 化合物、基于二烯的脂肪族化合物、芳香族不饱和化合物、或包含前述化合 物中的至少一种的组合。