[发明专利]制造薄膜晶体管基板的方法和用在该基板中的感光组合物

说明书

本申请要求2007年7月23日提交的韩国专利申请No.10-2007-0073496的优先权以及根据35U.S.C.§119从其中产生的所有权益，其内容全部引入本文作为参考。 

技术领域

公开了一种制造包含感光组合物的薄膜晶体管基板的方法。该感光组合物为有机膜的形式；该有机膜具有高的感光度、高的耐热性和良好的抗冲击性。 

背景技术

液晶显示器(LCD)是使用最广泛的平板显示器之一。商购可得的LCD包括其上形成电极的两个基板以及置于所述基板之间的液晶层。当将电压施加到电极上时，液晶层的液晶分子基于所得电场改变它们的排列，从而影响光的偏振和控制透射光的量。 

通过将单独的电压施加到各像素电极上而在LCD上显示图像。为了显示图像，在两个基板之一(具体为TFT基板)上提供像素电极和相关线路以及三端TFT(用于转换施加到各像素电极上的电压)。另外，有机绝缘膜可用于使像素电极和相关线路绝缘，由此降低可在其间产生的寄生电容。 

然而，当将有机绝缘膜用在像素电极和多条线路之间时，用于形成有机绝缘膜的加工时间增加了TFT基板的加工时间，由此降低了生产效率。 

因此，仍需要提供一种有机绝缘膜，其具有减少的加工时间而不降低该有机绝缘膜的性能。 

发明内容

公开了一种制造薄膜晶体管(TFT)基板的方法，该薄膜晶体管基板包括具有高的感光度、高的耐热性和良好的抗冲击性的有机绝缘膜。还公开了一种用于制造该薄膜晶体管(TFT)基板的感光组合物。所公开的实施方式的附 加特征将在下面的描述中阐明。 

在实施方式中公开了一种制造薄膜晶体管基板的方法，该方法包括在绝缘基板上形成数据线路，通过涂布感光组合物而在该数据线路上形成有机绝缘膜；在该有机绝缘膜中图案化接触孔；以及在该有机绝缘膜中形成像素电极，该像素电极通过该接触孔与该数据线路电连接，其中该感光组合物包含三元共聚物，该三元共聚物得自不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物、以及不饱和的含有环氧基团的化合物、烯属化合物；以及约5-约100重量份的正型感光剂，基于100重量份的该三元共聚物；约5-约20重量份的增塑剂，基于100重量份的该三元共聚物；以及约50-约90重量份的溶剂，基于100重量份的该感光组合物。 

在可选择的实施方式中，感光组合物包含三元共聚物，其中该三元共聚物得自不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物、和不饱和的含有环氧基团的化合物、以及烯属化合物；以及约5-约100重量份的正型感光剂，基于100重量份的该三元共聚物；约5-约20重量份的增塑剂，基于100重量份的该三元共聚物；以及约50-约90重量份的溶剂，基于100重量份的该整个组合物。 

所公开的实施方式的其它详细方面包括在以下详细描述和附图中。 

附图说明

在本申请的权利要求中特别指出和清楚地要求保护本发明的主题。结合附图考虑，从以下详细描述，所公开的实施方式的前述和其它目的、特征和优点将明晰，在附图中： 

图1-6是顺次显示根据所公开实施方式制造薄膜晶体管(TFT)基板的方法的横截面图。 

详细的描述参照附图通过实例说明优选的实施方式以及优点和特征。 

具体实施方式

参照以下对示例性实施方式的详细描述和附图，所公开的方法的优点和特征可更易理解。然而，所公开的实施方式可以许多不同的形式体现，并且不应被解释为限于本文中所列举的实施方式。更确切地，提供这些实施方式，使得该公开内容彻底且完整，并将所公开的实施方式的思想全面地传达给本 领域技术人员，且本发明将仅由所附权利要求限定。在整个说明书中，相同的附图标记始终表示相同的元件。 

除非上下文清楚地另作说明，本文中所使用的单数形式“一种(a)”、“一个(an)”和“该”也用于包括复数形式。术语“第一”、“第二”等的使用不暗含任何特定的顺序，但被包括以鉴别各个元件。应进一步理解，当术语“包含”或“包括”用在本说明书中时，其表示所述特征、区域、整体、步骤、操作、元件和/或成分的存在，但不排除存在或添加一种或多种其它特征、区域、整体、步骤、操作、元件、成分和/或其集合。