[发明专利]具有连接外部真空源的复合座体

说明书

技术领域

本发明涉及一种电磁阀座体，尤指一种适用于连接外部真空源的复合座体。

背景技术

请参阅图1，其是现有的示意图，如图所示，现有的复合座体9包括一座体90、一气压缸91、及一吸嘴92。座体90包括一第一电磁阀901、一第二电磁阀902、一正气压源入口903、及一真空产生器904。

其中，座体90的正气压源入口903外接一正压气源，并且将正压气源分配至真空产生器904以产生负压的真空源，如图1所示，真空源是与吸嘴92连接以产生负压以利吸嘴92吸取物体。

现有复合座体9的真空产生器904是以伯努利原理而产生真空吸力，为提高其真空效果，因此，需以高速、高压的气体流进真空产生器904的入气口端，由排气口端排出气体的同时于真空出口端产生真空。

真空产生器904于运作时，需提供大量的正气压源以使真空产生器904持续产生真空，因此，相对耗费成本。另外，高速、高压的气体于排气口端排出后，会产生高频噪音，常造成工作环境的噪音污染，降低工作环境的工作质量，影响工作人员的工作效率。

此外，对于洁净度要求极高的无尘室内，于真空产生器904排出的瞬间高速气体会扰动无尘室内已沉淀的颗粒，并造成无尘室内的污染。

发明内容

本发明是一种连接外部真空源的复合座体，其设置于一机台上，机台包括一移动臂、及一承载台，移动臂滑设于机台上，并相对于承载台作横向的平移运动，复合座体包括一气压缸、一吸嘴、及一座体。

气压缸其包括一连接口、一另一连接口、及一活塞杆。吸嘴其固设于气压缸的活塞杆前端，吸嘴包括一气源衔接口。气压缸设置于座体上，座体包括一第一电磁阀、一第二电磁阀、一正气压源入口、及一真空源入口，第一电磁阀包括有一第一气压孔、一第二气压孔、一第三气压孔、及一第四气压孔。

其中，第一电磁阀的第一气压孔与第二气压孔相互连通，第三气压孔与第四气压孔相互连通，当第一电磁阀驱动第一气压孔移动至与正气压源入口接合并连通时，气压缸的连接口是与第一电磁阀的第二气压孔对接连通，并以正气压源入口的正气压推动气压缸的活塞杆前进，使活塞杆移动趋近承载台。

其中，第二电磁阀包括有一第一通口、及一第二通口，第二电磁阀的第一通口与第二通口相互连通，当第二电磁阀驱动第一通口移动至与真空源入口接合并连通时，吸嘴的气源衔接口是与第二电磁阀的第二通口对接连通，并以真空源入口的负气压提供予吸嘴以吸取外物。

当第一电磁阀驱动第三气压孔移动至与正气压源入口接合并连通时，气压缸的另一连接口是与第一电磁阀的第四气压孔对接连通，并以正气压源入口的正气压推动气压缸的活塞杆后退，使活塞杆移动远离承载台。

其后，再由移动臂带动复合座体平移至多个芯片至承载盘上方。正气压源入口是与一外部正气压源对接连通，真空源入口是与一外部真空源对接连通。

如此，即可直接以外部真空源所提供的负压给予复合座体，其不需使用大量的正气压来产生真空，又无高速、高压的气体自复合座体排出而产生高频噪音，可提高工作环境的工作质量，以提升工作人员的工作效率。此外，对于洁净度要求极高的无尘室内，由于无高速、高压的气体自复合座体排出，因此不会扰动无尘室内已沉淀的颗粒而造成无尘室内的污染。

其中，第二电磁阀可包括一第三通口、及一第四通口，第三通口与第四通口是相互连通，当第二电磁阀驱动第三通口移动至与正气压源入口接合并连通时，第四通口是与吸嘴的气源衔接口相应对接连通，此时，正气压自正气压源入口经由第三通口、第四通口，并由吸嘴的气源衔接口吹入吸嘴，以产生破真空效果将芯片快速地吹离吸嘴。

此外，吸嘴可包括一过滤器，过滤器包括一过滤接孔、及一另一过滤接孔，过滤器的过滤接孔是与吸嘴的气源衔接口连接，吸嘴的气源衔接口是透过过滤器的另一过滤接孔以选择式地与第二电磁阀的第二通口或第四通口对接连通，此过滤器是作为过滤外部正气压源与外部真空源与吸嘴之间长期运作所产生的水份、及灰尘，并可于过滤器补充润滑油以延长复合座体的使用寿命。

再者，复合座体可包括一真空检知表，真空检知表是与真空源入口相互连接。真空检知表可包括一真空检知信号开关，真空检知信号开关是与机台的一控制器电性连接，因此，当真空检知信号开关测得真空源入口的真空压力过低时而影响吸嘴对芯片的吸取力时，真空检知信号开关开启，以通知机台的控制器先行暂停动作、并发出警告信号。