[发明专利]在不锈钢上制备薄膜的方法有效
| 申请号： | 200810142996.4 | 申请日： | 2008-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN101768724A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 张俊彦;王舟;宋仕永;张斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 不锈钢 制备 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种在不锈钢上制备薄膜的方法，采用中频磁控溅射气相沉积技术，其特征在于该方法包括以下步骤：
A将预清洁后的不锈钢片依次放入丙酮、乙醇中超声清洗，然后转移至真空腔里，基底盘与脉冲负偏压电源相连；抽真空直到真空度小于2.0×10-3Pa；
B沉积Ti过渡层：氩气流量160sccm，中频电流2.0A，脉冲偏压2000V，占空比0.15；
C沉积DLC薄膜：氩气流量120sccm，甲烷流量60sccm，中频电流2.0A，脉冲偏压800V，占空比0.15；
D有机分子修饰类金刚石薄膜表面：将十八烯旋涂到类金刚石薄膜表面，然后在氮气保护下用中压汞灯紫外光照射；取出样品，在甲苯中超声清洗五分钟，用以除去未反应的十八烯。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院兰州化学物理研究所，未经中国科学院兰州化学物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200810142996.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
