[发明专利]一种显影液供给管路有效
| 申请号： | 200810144417.X | 申请日： | 2008-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN101639633A | 公开（公告）日： | 2010-02-03 |
| 发明（设计）人： | 鲁旭光;胡清强;陈晓琪 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 屈小春 |
| 地址： | 215025江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 供给 管路 | ||
【权利要求书】：
1. 一种显影液供给管路，包括显影液管路、位于显影液管路前端的 显影液喷嘴，其特征在于，还包括与显影液管路相并联的去离子水管路， 该去离子水管路通过安装到显影液管路的控制阀门连接到显影液管路。
2. 根据权利要求1所述的一种显影液供给管路，其特征在于，该去 离子水管路并联到恒温交换系统和过滤器之间的显影液供给管路上。
3. 根据权利要求1或2所述的一种显影液供给管路，其特征在于， 该控制阀门为手动三相阀，该手动三相阀可同时用于控制去离子水和显影 液。
4. 根据权利要求1或2所述的一种显影液供给管路，其特征在于， 该显影液喷嘴为E系列的喷嘴。
5. 根据权利要求1或2所述的一种显影液供给管路，其特征在于， 该显影液供给管路还包括温度控制器，该温度控制器与机台的化学制剂输 入/输出板相连接，用于感测流向显影液喷嘴的显影液的温度。
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