[发明专利]衬底移送轴用支撑块及利用该支撑块的衬底移送装置

权利要求书

1.一种衬底移送轴用支撑块，其包含主体和封盖，

所述主体支撑一个衬底移送轴，所述主体包含：轴承安装槽，以用于安 装可旋转地支撑衬底移送轴的轴承；沿着所述衬底移送轴的排列方向贯通形 成的润滑液供给通道，以用于从外部供给润滑液；分支通道，以用于将所述 润滑液供给通道连通至所述轴承安装槽；润滑液排出口，以用于从所述轴承 安装槽排出润滑液；分别在沿着所述衬底移送轴的排列方向的两端部形成的 结合部，

所述封盖用于在轴承安装于所述轴承安装槽的状态下与所述主体结合而 盖住轴承安装槽，

所述润滑液排出口位于相对所述轴承安装槽更低的位置。

2.根据权利要求1所述的衬底移送轴用支撑块，其特征在于所述轴承安 装槽还形成有滞留槽，以用于使通过所述分支通道供给的润滑液滞留。

3.一种衬底移送装置，其包含：由权利要求1所记载的结构构成并沿着 衬底移送方向设置的一系列的第一支撑块；

根据安装于所述第一支撑块的轴承安装槽的轴承可旋转地设在第一支撑 块的衬底移送轴；

与所述衬底移送轴的端部相连接的驱动机构，以用于旋转驱动衬底移送 轴；

第二支撑块，其在衬底移送的开始部和终止部分别与所述第一支撑块结 合，并且在与第一支撑块结合部位的相反侧具有连接部；及

端块，其具有与所述第二支撑块的连接部相对应的连接部，从而与所述 第二支撑块结合。