[发明专利]衬底移送轴用支撑块及利用该支撑块的衬底移送装置

说明书

技术领域

本发明涉及衬底移送装置，尤其涉及用于支撑衬底移送轴的支撑块及利用该支撑块的衬底移送装置，所述衬底移送轴用于移送平板显示器等的衬底。 

背景技术

通常，如平板显示器(Flat Panel Display：FPD)的各种衬底，需要经过例如蒸镀、清洗、干燥、曝光、显影、蚀刻等各种制造工艺。此时，衬底通过衬底移送装置被移送到各个制造工艺中，并且衬底连续向一侧水平移动，以用于在特定工艺中对移送中的衬底进行各种处理。 

衬底移送装置使用多个衬底移送轴，而所述衬底移送轴利用轴承可旋转地设置在支撑块上。为了使衬底移送轴的旋转更加流畅，同时为了防止由于磨损而缩短寿命，应向轴承周期性地供给润滑液。在现有技术中，为了供给润滑液使用朝轴承喷射润滑液的方式，或使用轴承的一部分浸在设于支撑块外侧的润滑液供给箱内的润滑液里而被驱动的方式。 

但是，如果采取前者的方式，则需要另设润滑液供给管，这不仅不便于进行衬底移送装置的维护作业，而且喷射到轴承的润滑液溅射到其他部位而影响美观。并且，如果采取后者，则需要在润滑液供给箱内装填润滑液，从而使润滑液的消耗量大，而且在轴承上产生的异物不能向外部流出而残留在润滑液供给箱内部，从而由于所述异物造成轴承的磨损加快，导致通过衬底移送装置移送的衬底被污染。 

另外，图1示出现有衬底移送装置的一例。从图1所示的衬底移送装置可以看出，衬底移送装置主要具备衬底移送轴1和衬底移送框架2。沿着衬底的移送方向在衬底处理槽(bath)3并列设置多个衬底移送轴1，而且衬底移送框架2可旋转地分别支撑这种衬底移送轴1的两端。尤其，衬底移送框架2由主体2a和封盖2b组成，而且在主体2a与封盖2b之间具有与衬底移送轴1接触的轴承(未图示)，从而可使衬底移送轴1流畅地旋转。此外，在衬底移送框架2设有用于分别向轴承供给润滑液的润滑液供给线2c。 

在这种现有的衬底移送装置中，衬底移送框架2长度非常长，相当于衬底的移送距离，为了制造衬底移送框架2制造商必须在主体2a直接加工形成轴承固定槽和润滑液供给线2c。尤其，供给线2c必须加工成使润滑液朝固定于轴承固定槽的轴承流动，并可向外排出使用后的润滑液的结构。 

但是，由于现有的衬底移送框架2的长度非常长，相当于衬底的移送距离，因此制造商不便利用枪钻(gun drill)等工具直接加工轴承固定槽和润滑液供给线2c，从而对于制造衬底移送框架2带来很多困难。并且，完成制造的衬底移送框架2也因其长度过长而不便于搬运和保管，而且也不易于现场设置。尤其，在布置(layout)衬底移送装置所需的工程设备时，需要适当长度的衬底移送框架，但是由于现有的衬底移送框架2的长度是固定值，所以导致不能精确地应对工程设备的布置。 

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种不需要另设外部润滑液供给管，并且能够以少量的润滑液降低轴承的磨损的衬底移送轴用支撑块。 

本发明的另一目的在于，提供一种构成制造容易且搬运和保管及现场设置容易的衬底移送框架的衬底移送轴用支撑块。 

本发明的又一目的在于，利用所述支撑块能够根据衬底移送距离容易调整长度的衬底移送装置。 

为了解决上述第一个目的，本发明提供一种衬底移送轴用支撑块，其包含主体和封盖，所述主体包含：轴承安装槽，以用于安装可旋转地支撑衬底移送轴的轴承；润滑液注入口，以用于从外部注入润滑液；沿着衬底移送轴的排列方向贯通形成的润滑液供给通道，其与所述润滑液注入口连通；分支通道，以用于将所述润滑液供给通道连通至所述轴承安装槽；润滑液排出口，以用于从所述轴承安装槽排出润滑液。所述封盖用于在轴承安装于所述轴承安装槽的状态下与所述主体结合而盖住轴承安装槽。 

为了解决上述第一及第二个目的，本发明公开一种衬底移送轴用支撑块，其包含主体和封盖，所述主体支撑一个衬底移送轴，所述主体包含：用于安装轴承的轴承安装槽，所述轴承可旋转地支撑衬底移送轴；沿着所述衬底移送轴的排列方向贯通形成的润滑液供给通道，以用于从外部供给润滑液；分 支通道，以用于将所述润滑液供给通道连通至所述轴承安装槽；润滑液排出口，以用于从所述轴承安装槽排出润滑液；分别在沿着所述衬底移送轴的排列方向的两端部形成的结合部。所述封盖用于在轴承安装于所述轴承安装槽的状态下与所述主体结合而盖住轴承安装槽。所述润滑液排出口位于相对所述轴承安装槽更低的位置。