[发明专利]X射线管和X射线分析设备

权利要求书

1.一种X射线管，包括：

真空封闭件，所述真空封闭件具有真空内部和由透射X射线的X 射线透射膜构成的窗口；

电子束源，所述电子束源设置在所述真空封闭件内部并发射电子 束；

目标件，所述目标件设置在所述窗口的上方且用所述电子束照射 以此产生主X射线，所述主X射线穿过所述窗口射到外部样品，所述 目标件的外直径比所述窗口小；

X射线检测器装置，该X射线检测器装置设在所述真空封闭件内 部，且用于检测在从所述样品释放后从所述窗口进入的荧光X射线和 散射X射线，并用于输出携带了与所述荧光X射线和散射X射线的 能量有关的信息的信号；以及

金属热电导体单元，所述金属热电导体单元设置在所述窗口的一 部分的上方，并从所述目标件延伸到所述真空封闭件。

2.如权利要求1所述的X射线管，其中所述热电导体单元由与 所述目标件相同的材料制成。

3.如权利要求2所述的X射线管，其中所述热电导体单元制作 得比所述目标件厚。

4.一种X射线分析设备，包括：

权利要求1所述的X射线管；

分析器，所述分析器用于分析所述信号；以及

显示单元，所述显示单元用来显示所述分析器执行的分析的结 果。

5.如权利要求4所述的X射线分析设备，其中所述分析器和所 述显示单元被设置在所述真空封闭件中。