[发明专利]减压干燥装置

权利要求书

1.一种减压干燥装置，具备载置基板的基板载置部、和相对于该基板载置部可相对地接触分离的腔盖部，通过在由该基板载置部和腔盖部形成的基板收纳部内收纳有涂敷了涂敷液的基板的状态下，使上述基板收纳部内减压，从而使上述涂敷液干燥，其特征在于，

上述腔盖部与上述基板载置部面对，并且具有具备4个边缘部的四边形状，在与基板载置部侧相反一侧的外表面上，接合有在与相邻的边缘部交叉的方向上延伸的加强肋。

2.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，上述加强肋设置为，通过上述腔盖部的中心与相邻的边缘部彼此交叉的角部的中点。

3.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于，上述加强肋具有一方向延伸的形状，这些加强肋配置为在上述腔盖部的外表面上形成四边形，上述加强肋彼此交叉的肋交叉部形成在上述边缘部上。

4.如权利要求3所述的减压干燥装置，其特征在于，上述腔盖部具有与所载置的基板大致平行且在基板载置部侧的表面平坦地形成的平板部、和在平板部的端部向基板载置部侧突出的收纳壁部，上述肋交叉部形成在对应于该收纳壁部的平板部的外表面上。