[发明专利]减压干燥装置

说明书

技术领域

本发明涉及通过使涂敷在基板上的涂敷液减压干燥，在基板上形成涂敷膜的减压干燥装置。

背景技术

在液晶显示器或等离子显示器等平板显示器中，使用玻璃基板上涂敷有抗蚀剂液的部件(称作涂敷基板)。该涂敷基板通过由涂敷装置在基板上均匀地涂敷抗蚀剂液后、由减压干燥装置使涂敷液干燥来生产。

该减压干燥装置，例如如下述专利文献1所示，具有由可升降动作的腔盖和载置基板的下部板形成的处理室(腔)，在腔盖下降的状态下，处理室能够维持密闭状态。并且，在下部板上，形成有用于排出处理室内的空气的排气口、和用于向处理室内供给N₂等气体的气体供给口。由此，通过在处理室内载置有涂敷基板的状态下从排气口排出处理室内的空气，使处理室内减压(低压化)而使涂敷液干燥，并且如果干燥结束，则通过向处理室内供给N₂气体，能够解除减压状态。

【专利文献1】日本特开平10-76211号公报

这里，图5是表示以往的腔盖的图。如该图5所示，在腔盖90上通过焊接而安装有加强肋91。即，如果为了使涂敷基板减压干燥而将处理室减压，则腔盖90通过受大气压推压而向处理室侧稍稍变形，从而处理室内的气流受到影响。如果产生该稍稍的气流的紊乱，则在涂敷膜上形成条纹状的图案等，难以使涂敷液同样地干燥。因此，通过设置加强肋91，提高腔盖90的刚性而抑制不合格基板的产生。

但是，在以往的腔盖90的加强肋91中，存在这样的问题：有可能因其焊接部分剥离而使加强肋91不能发挥本来的功能。即，如果腔盖90受大气压推压，则尽管其中央部分的弯曲变形量比端部大，但在以往的腔盖90中，由于焊接强度较弱的加强肋91彼此交叉的部分(肋交叉部92)集 中地形成在腔盖90的中央部分上，所以在其肋交叉部92的焊接部分发生破裂等而剥离的可能性较高。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而完成的，目的是提供一种能够通过抑制腔盖部的焊接部分的剥离等的产生来抑制生产不合格基板的减压干燥装置。

为了解决上述课题，本发明的减压干燥装置，具备载置基板的基板载置部、和相对于该基板载置部可相对地接触分离的腔盖部，通过在由该基板载置部和腔盖部形成的基板收纳部内收纳有涂敷了涂敷液的基板的状态下，使上述基板收纳部内减压，从而使上述涂敷液干燥，其特征在于，上述腔盖部与上述基板载置部面对，并且具有具备4个边缘部的四边形状，在与基板载置部侧相反一侧的外表面上，接合有在与相邻的边缘部交叉的方向上延伸的加强肋。

根据上述减压干燥装置，能够在避开腔盖部的中央部分的状态下设置加强肋。即，由于加强肋在向与腔盖部的相邻的边缘部交叉的方向延伸的状态下配置，所以加强肋不会设在腔盖部的中心，其结果，能够将肋交叉部形成在离开腔盖部的中央部分的位置上。因而，与如以往那样加强肋在向腔盖部相互面对的边缘部延伸的方向(沿着腔盖部的边缘部的方向)上配置的情况相比，能够抑制肋交叉部的焊接部分剥离。

此外，优选的结构是，上述加强肋设置为，通过上述腔盖部的中心与相邻的边缘部彼此交叉的角部的中点。

根据该结构，能够通过较少的加强肋平衡良好地加固腔盖部整体。

此外，也可以设计为如下结构，上述加强肋具有一方向延伸的形状，这些加强肋配置为在上述腔盖部的外表面上形成四边形，上述加强肋彼此交叉的肋交叉部形成在上述边缘部上。

根据该结构，由于将焊接强度较弱的肋交叉部设在弯曲变形较小的边缘部上，所以能够抑制肋交叉部剥离的问题。此外，如果肋交叉部的数量变多，则腔盖制造时的清洗作业等变得复杂，由此产生增加腔盖部整体的成本的问题，而根据该结构，由于能够减少肋交叉部的数量，所以能够做成低价的腔盖部。

此外，也可以设计为如下结构，上述腔盖部具有与所载置的基板大致平行且在基板载置部侧的表面平坦地形成的平板部、和在平板部的端部向基板载置部侧突出的收纳壁部，上述肋交叉部形成在对应于该收纳壁部的平板部的外表面上。

根据该结构，由于平板部的厚壁部不易受到弯曲变形的影响，所以通过在对应于该厚壁部的部分上设置肋交叉部，能够抑制肋交叉部的焊接部分剥离。

发明的效果

根据本发明的减压干燥装置，能够抑制焊接部分的剥离等的产生从而抑制生产不合格基板。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的减压干燥装置的腔盖部打开的状态的概略图。

图2是表示上述减压干燥装置的腔盖部关闭的状态的概略图。

图3是上述腔盖部的俯视图。