[发明专利]用纳米级材料作为晶体管沟道的生物传感器及其制造方法

说明书

背景技术

1.技术领域

本申请的实例性实施方式涉及到生物传感器和制造生物传感器的 方法。

2.现有技术的描述

生物传感器用于通过让生物传感器探针与生物样本相互作用并观 测在生物样本和探针之间发生何种反应来分析生物样本。例如，荧光 分析可用于分析生物样本。在这种分析中，按照碱基序列类型将具有 不同碱基序列的探针固定到生物传感器的相应单元上，且让标记有荧 光材料的生物样本与探针反应。因此，由于生物样本和某些探针通过 杂交作用耦合，导致荧光材料会残留在一些细胞上。用扫描器识别具 有荧光材料的细胞。因此，基于具有荧光材料的被识别细胞来确定构 成生物样本的物质。

然而，由于生物样本的荧光分析包括的步骤具有用荧光材料标记 生物样本和实施扫描过程，因此其会花费相对较长的时间周期。而且， 精确地收集和分析自荧光材料发出的光并不容易。

发明内容

根据实例性实施方式的生物传感器可包括多个绝缘膜。第一信号 线和第二信号线可插入多个绝缘膜之间。半导体纳米结构可设置在多 个绝缘膜上，该半导体纳米结构具有电连接到第一信号线的第一侧和 电连接到第二信号线的第二侧。多个探针可以耦合到半导体纳米结构。

根据实例性实施方式的制造生物传感器的方法可包括将半导体纳 米结构设置在基板上。多个绝缘膜、第一信号线和第二信号线可形成 在半导体纳米结构上，第一信号线电连接到半导体纳米结构的第一侧 且第二信号线电连接到半导体纳米结构的第二侧。半导体纳米结构可 以通过去除基板而暴露出来。多个探针可以耦合到半导体纳米结构。

附图说明

通过观察附图，示范性实施方式的上述以及其他特征将更加明显， 其中：

图1是根据示范性实施方式的示意性线路图；

图2A和2B是图1活性区的半导体纳米结构的示意性平面图；

图3是图2A的半导体纳米结构的纳米线的透视图；

图4至11是根据示范性实施方式制造生物传感器的方法的截面 图；

图12至16是根据实例性实施方式的生物传感器的截面图。

具体实施方式

通过结合附图查看具体说明可更好地理解示范性实施方式的优点 和特征。但是，应当注意，实例性实施方式可以以很多种不同形式体 现且不应当认为其限于此处的实例。

应当理解，当元件或层被称作“在”另一元件或层“上”、“连 接到”、“耦合到”或者“覆盖”另一元件或层时，其可直接在另一 元件或层上，直接连接、耦合或覆盖至另一元件或层，或者至存在的 中间元件或层。相反，当称作元件“直接在”另一元件或层“上”、 “直接连接到”或“直接耦合到”或“直接覆盖”另一元件或层时， 不存在中间元件或层。如在此所使用的，术语“和/或”包括一个或 多个相关列出项目的任意和所有组合。

将理解，尽管术语第一、第二、第三等在此用于描述各个元件、 物、区域、层和/或部分，但是这些元件、物、区域、层和/或部分 不应限制于这些术语。这些术语仅用于对一个元件、物、区域、层或 部分与另一个区域、层或部分进行区分。由此，以下讨论的第一元件、 物、区域、层或部分可以被称作是第二元件、物、区域、层或部分， 而不脱离实例性实施方式的教导。

空间上的相对术语如“下方”、“以下”、“下部”、“上方”、 “上部”等在此用于方便描述，以描述一个物或零件与另一个(多个) 元件或零件如图中所示的关系。将理解，空间相对术语旨在包括器件 在使用或操作中除了图中所述取向之外的不同取向。例如，如果器件 在图中翻转，描述为“在”其他元件或零件“下方”或“以下”的元 件，也可以位于其他元件或零件的“上方”。这样，术语“以下”可 以包含上方或下方的取向。器件还可以别的方式取向(旋转90度或在 别的方位)以及空间相关的描述适用这里相关的解释。

在此使用的术语仅是为了描述各实施方式的目的，并不意图限制 实例性实施例。如在此所使用的，单数形式的“一个”、“该”也可 以包括复数形式，除非上下文另外清楚地指出。将进一步理解的是， 术语“包括”和/或“包含”，当用在本说明书中时，指定存在所述零 件、整体、步骤、操作、元件和/或物，但是不排除存在或附加一个 或多个其他零件、整体、步骤、操作、元件、物和/或其组合。