[发明专利]磁导引装置

权利要求书

1.一种磁导引装置，其特征在于，包括：

由铁磁性体形成的导轨(2)；

沿该导轨(2)移动的移动体(4)；

设置于该移动体(4)的与所述导轨(2)相向的相向部，利用磁力的作用相对于所述导轨(2)以非接触方式支承所述移动体(4)的磁铁单元(6)；

在所述移动体(4)的移动方向上保持规定的间隔配置，检测所述磁铁单元(6)和所述导轨(2)两者间空隙的至少两个间隙传感器(7a、7b)；

判定这些间隙传感器(7a、7b)输出的检测信号的变化量，使对于所述各检测信号当中变化量小的信号的加权系数加大，使对于所述各检测信号当中变化量大的信号的加权系数减小，将乘以所述加权系数的所述各检测信号相加得到的信号作为磁控制用信号来输出的信号校正部(31)；以及

根据该信号校正部(31)输出的磁控制用信号，控制所述磁铁单元(6)的磁力的控制部(21)。

2.如权利要求1所述的磁导引装置，其特征在于，

所述信号校正部(31)使所述加权系数在规定的时间区间内连续变化。

3.如权利要求1所述的磁导引装置，其特征在于，

所述信号校正部(31)对所述加权系数的变化率设置上限。

4.如权利要求1所述的磁导引装置，其特征在于，

所述信号校正部(31)包括平均化部(38)，所述平均化部(38)生成将所述各间隙传感器(7a、7b)输出的检测信号平均化了的平均值信号，

将该平均化部(38)所生成的平均值信号和所述各间隙传感器(7a、7b)输出的检测信号分别乘以加权系数再相加得到的信号作为磁控制用信号来输出。

5.如权利要求1所述的磁导引装置，其特征在于，

所述信号校正部(31)包括对所述各间隙传感器(7a、7b)输出的检测信号分别进行微分的微分部(32a、32b)，

根据该微分部所得到的各微分信号的波形变化判定所述各检测信号的变化量。

6.如权利要求1所述的磁导引装置，其特征在于，

所述信号校正部(31)包括对所述各间隙传感器(7a、7b)输出的检测信号分别进行至少2阶微分的微分部(36a、36b)，

根据该微分部所得到的各微分信号的波形变化判定所述各检测信号的变化量。

7.如权利要求1所述的磁导引装置，其特征在于，

所述信号校正部(31)包括：

对所述各间隙传感器(7a、7b)输出的检测信号分别进行微分的微分部(32a、32b)；以及

保持该微分部所得到的各微分信号的保持部(37a、37b)，

根据该保持部(37a、37b)所保持的规定时间前的各微分信号和当前时点的各微分信号两者的差分信号判定所述各检测信号的变化量。

8.如权利要求1所述的磁导引装置，其特征在于，

在所述信号校正部(31)的前级设置有对所述各间隙传感器(7a、7b)输出的检测信号的相对差进行校正的稳态差异校正部(41)，

将经该稳态差异校正部(41)校正的各检测信号输入所述信号校正部(31)。

9.如权利要求8所述的磁导引装置，其特征在于，

所述稳态差异校正部(41)求出所述各间隙传感器(7a、7b)输出的检测信号的差分，对该差分信号乘以规定的增益反馈给所述各检测信号。

10.如权利要求8所述的磁导引装置，其特征在于，

所述稳态差异校正部(41)包括平均化部(48)，所述平均化部(48)生成将所述各间隙传感器(7a、7b)输出的检测信号平均化了的平均值信号，

分别求出该平均化部(48)所生成的平均值信号和所述各检测信号两者的差分，并对这些差分信号乘以规定的增益反馈给所述各检测信号。

11.如权利要求9所述的磁导引装置，其特征在于，

所述稳态差异校正部(41)包括：

检测所述各间隙传感器(7a、7b)输出的检测信号的变化量的变化量检测部(46a、46b)；以及

根据该变化量检测部(46a、46b)检测出的所述各检测信号的变化量的差分设定所述增益的值的增益设定部(45)。

12.如权利要求11所述的磁导引装置，其特征在于，

所述增益设定部(45)在所述各检测信号的变化量的差分大于规定值的情况下使所述增益小于规定值。