[发明专利]一种游星轮片蚀刻法生产工艺

权利要求书

1、一种游星轮片蚀刻法生产工艺，包括设计、制版、上料、清洗、感光材料涂敷、曝光、显影、固化、蚀刻、剥膜、清洗、检验、包装过程，其特征在于：

(1)、设计：

制图，计算预留制版腐蚀余量；

(2)、制版：

制作菲林胶片版，在显微镜下对胶片版进行粘贴对位；

(3)、上料：

用剪板机将卷材切成板材；

(4)、清洗：

对切好的板材用清洗剂进行除油，然后再用清水清洗；

(5)、感光材料涂敷：

对清洗烘干后的板材进行丝网涂墨，烘干；

(6)、曝光：

将已烘干的油墨板材进行双面曝光，将胶片版上的图形复制到涂过油墨的板材上；

(7)、显影：

将未被曝光的部分显影掉，保留曝过光的图形；

(8)、固化：

显影后的单板用烘箱进行固化；

(9)、蚀刻：

采用蚀刻机喷淋蚀刻；

(10)、剥膜：

将经过蚀刻的单板放入NaOH溶液进行剥膜处理；

(11)、清洗烘干：

单板在剥膜处理后，烘道内烘干处理。

2.根据权利要求1所述的游星轮片蚀刻法生产工艺，其特征在于：步骤1中所述设计的腐蚀余量为加工板材厚度的一半。

3.根据权利要求1所述的游星轮片蚀刻法生产工艺，其特征在于：步骤5中所述丝网涂墨层材料为感光性抗蚀油墨材料。

4.根据权利要求1所述的游星轮片蚀刻法生产工艺，其特征在于：步骤6中将胶片版上的图形复制到涂过油墨的板材上，是将已烘干的油墨板材夹在菲林胶片版中间进行曝光处理的。

5.根据权利要求1所述的游星轮片蚀刻法生产工艺，其特征在于：步骤8中所述固化工艺的参数是，烘箱内温度200℃，固化时间200s。

6.根据权利要求1所述的游星轮片蚀刻法生产工艺，其特征在于：步骤9中采用蚀刻机喷淋蚀刻，FeCl₃液的疲劳度在5％～15％，温度保持40℃～55℃，腐蚀压力为0.15MPa～0.35Mpa。

7.根据权利要求1所述的游星轮片蚀刻法生产工艺，其特征在于：步骤(10)中所述剥膜工序是经过蚀刻的单板置入90℃±10℃的NaOH溶液中，NaOH溶液浓度为10％～20％。