[发明专利]一种游星轮片蚀刻法生产工艺

说明书

技术领域

本发明涉及一种游星轮片的生产工艺，特别涉及一种研磨用游星轮片蚀刻法生产工艺。

背景技术

目前一般生产游星轮片采用比较广泛的都是机械冲压技术，即按照产品图纸要求设计好相应的模具，利用模具对材料进行机械冲压形成产品。这种方式是对金属材料进行物理切割，在对材料挤压冲裁过程中容易使产品边缘产生毛刺，影响产品的良品率，加工精度一般也比较低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种游星轮片蚀刻法生产工艺，采用精密蚀刻方式进行生产。为达到上述目的，本发明的技术方案是：

游星轮片蚀刻法生产工艺，包括设计、制版、上料、清洗、感光材料涂敷、曝光、显影、固化、蚀刻、剥膜、清洗、检验、包装过程，其具体步骤如下：

(1)、设计：

用CAD制图，制版按A＝T/2计算，其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度；

(2)、制版：

采用光电绘图仪制作菲林胶片版；

(3)、上料：

用剪板机将卷材切成板材；

(4)、清洗：

用清洗剂进行除油，然后再用清水清洗；

(5)、感光材料涂敷：

对清洗烘干后的板材用丝网进行涂墨，墨层为感光性抗蚀油墨。一面涂墨完成后进入红外烘干机里烘干，在烘道内进行传动烘干，完成后再对另一面用同样的工艺进行涂墨、烘干；

(6)、曝光：

将已烘干的油墨板材夹在菲林胶片版中间进行紫外线双面曝光，将胶片版上的图形复制到涂过油墨的板材上；

(7)、显影：

用2％～5％的Na₂CO₃溶液作为显影液，在一定的温度和压力下对单板进行显影，将未被曝光的部分显影掉，保留曝过光的图形；

(8)、固化：

显影后的单板用烘箱在150℃～200℃的条件下进行固化，固化时间3min～5min；

(9)、蚀刻：

采用蚀刻机喷淋蚀刻，FeCl₃溶液在40℃～55℃的温度和0.15MPa～0.35MPa的腐蚀压力下进行蚀刻，FeCl₃溶液的疲劳度、游离酸、波美等参数通过分析根据实际检测数据，采用调整氧化剂的方法保证FeCl₃溶液的疲劳度，采用追加盐酸的方法保证FeCl₃溶液的游离酸浓度，采用追加纯水的方法保证FeCl₃溶液的波美度；

(10)、剥膜：

将经过蚀刻的单板放入浓度为10％～20％，温度为90℃±10℃的NaOH溶液进行剥膜处理；

(11)、清洗烘干：

单板在剥膜处理后，依次用工业水、纯水清洗，然后进入60℃～90℃的烘道内烘干。

本工艺生产的游星轮片加工精度高、产品边缘比较光滑，能提高游星轮片良品率，降低生产成本。

附图说明

图1是本发明的工艺流程图。

图2是游星轮片的示意图

具体实施方式

参见附图：本发明的实施例工艺过程是：

1、设计：

用CAD制图，制版按A＝T/2计算，其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度；

2、制版：

采用光绘机制作菲林，在100倍显微镜下对位，对位偏差不超过5μm；

3、上料：

用剪板机将卷材剪切成产品所需要的板材尺寸；

4、清洗：

对剪切好的板材用清洗剂进行除油，然后再用清水清洗；

5、感光材料涂敷：

对清洗烘干后的板材用丝网工艺进行涂墨，墨层为感光性抗蚀油墨。待第一面涂墨完成后进入红外烘干机进行传动烘干，烘道温度范围为90℃±20℃，完成后再对另一面用同样的工艺进行涂墨、烘干；

6、曝光：

将已烘干的油墨板材夹在菲林胶片版中间进行紫外线双面曝光，将胶片版上的图形复制到涂过油墨的板材上，曝光时间3s～8s；

7、显影：

用2.0％～5.0％的Na₂CO₃溶液作为显影液，显影温度45℃±5℃，显影压力0.25MPa±0.05MPa，将未被曝光的部分显影掉，保留曝过光的图形；

8、固化：

固化过程采用烘箱，烘箱内温度200℃±10℃，固化时间200s±10s；

9、蚀刻：

采用蚀刻机喷淋蚀刻，FeCl₃液的疲劳度在5％～15％，温度保持40℃～55℃，腐蚀压力为0.15MPa～0.35MPa；