[发明专利]显示基板制造方法以及真空处理设备

权利要求书

1.一种显示基板制造设备的显示基板制造方法，所述显示基板制造设备具有：

基部，所述基部具有由绝缘材料制成的吸持面；

电极，所述电极形成在所述基部内，以便产生用于吸持放置在吸持面上的基板的静电吸持力；

加热装置，所述加热装置形成在所述基部内，以便对所述基部加热；以及

抽气装置，所述抽气装置用于对形成于放置在所述吸持面上的基板和所述吸持面之间的空间的内部抽气，

所述方法包括：

在吸持面上放置不同于所述基板的模拟基板的放置步骤；

利用所述抽气装置对所述空间的内部抽气、以便使所述模拟基板与所述吸持面紧密接触的抽气步骤；

由所述加热装置对所述基部加热、以便有利于从所述吸持面上去除粘到所述吸持面上的外来颗粒的加热步骤；

将粘到所述吸持面上的外来颗粒从所述吸持面转移到与所述吸持面紧密接触的所述模拟基板上的转移步骤；以及，

从所述吸持面上移去在所述转移步骤中外来颗粒被转移到其上的所述模拟基板的移去步骤。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述空间用于提供氦气，用以提高冷却效果。

3.一种显示基板制造设备的显示基板制造方法，所述显示基板制造设备具有：

基部，所述基部具有由绝缘材料制成的吸持面；

电极，所述电极形成在所述基部内，以便产生用于吸持放置在吸持面上的基板的静电吸持力；

加热装置，所述加热装置形成在所述基部内，以便对所述基部加热；

以及抽气装置，所述抽气装置用于对形成于放置在所述吸持面上的基板和所述吸持面之间的空间的内部抽气，

所述方法包括：

在吸持面上放置不同于所述基板的模拟基板的放置步骤；

由所述加热装置对所述基部加热、以便有利于从所述吸持面上去除粘到所述吸持面上的外来颗粒的加热步骤；

利用所述抽气装置对所述空间的内部抽气、以便使所述模拟基板与所述吸持面紧密接触的抽气步骤；

将粘到所述吸持面上的外来颗粒从所述吸持面转移到与所述吸持面紧密接触的所述模拟基板上的转移步骤；以及，

从所述吸持面上移去在所述转移步骤中外来颗粒被转移到其上的所述模拟基板的移去步骤。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述空间用于提供氦气，用以提高冷却效果。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述加热步骤中，将加热模拟基板的状态保持预定的时间。

6.如权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述加热步骤中，将加热模拟基板的状态保持预定的时间。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，为了将模拟基板吸持到所述吸持面上，所述放置步骤包括利用通过向所述电极施加电压而产生的静电吸持力将放置的模拟基板吸持到所述吸持面上的步骤。

8.如权利要求3所述的方法，其特征在于，为了将模拟基板吸持到所述吸持面上，所述放置步骤包括利用通过向所述电极施加电压而产生的静电吸持力将放置的模拟基板吸持到所述吸持面上的步骤。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，当被处理的基板的累计数量超过预定的参考数量时，实施所述方法。

10.如权利要求3所述的方法，其特征在于，当被处理的基板的累计数量超过预定的参考数量时，实施所述方法。