[发明专利]闸阀以及使用该闸阀的基板处理装置

权利要求书

1.一种闸阀，其用于开闭设于腔室的侧壁上的基板搬出搬入口，其特征在于，包括：

以包围所述基板搬出搬入口的方式设置在所述腔室的侧壁上的框体；

升降自由地设置在所述框体内并开闭所述基板搬出搬入口的阀体；

在与所述基板搬出搬入口相对的位置和从所述基板搬出搬入口退避的位置之间使所述阀体升降的升降驱动机构；和

在与所述基板搬出搬入口相对的位置和按压地闭塞所述基板搬出搬入口的位置之间使所述阀体进退的由凸轮机构构成的开闭驱动机构，

所述凸轮机构具有：长条部件，其沿所述阀体的整个长度方向配置在所述阀体的背面侧并自由可动地支撑在所述框体上；和凸轮，其伴随所述长条部件的动作而按压驱动所述阀体，并通过使从所述基板搬出搬入口侧反压所述阀体的力作用在所述长条部件，在所述闭塞位置按压保持所述阀体。

2.如权利要求1所述的闸阀，其特征在于：

所述凸轮为板状凸轮，

所述凸轮机构具有：驱动机构，其滑动自由地支撑在所述框体上，所述长条部件向与所述阀体的进退方向垂直的方向滑动；和阀体驱动用辊，其与设于所述长条部件和所述阀体之间的所述板状凸轮的凸轮面接触并驱动所述阀体，将所述长条部件的滑动动作转换为所述阀体的进退动作。

3.如权利要求2所述的闸阀，其特征在于：

所述板状凸轮具有：第一凸轮面，其通过使所述长条部件向一个方向滑动，与所述阀体驱动用辊抵接并使该阀体驱动用辊向关闭所述阀体的方向前进，移动到按压地闭塞所述基板搬出搬入口的位置；第二凸轮面，其通过使从所述基板搬出搬入口侧反压所述阀体的力作用在所述长条部件上，在所述闭塞位置保持所述阀体。

4.如权利要求2所述的闸阀，其特征在于：

所述板状凸轮设于所述长条部件的阀体侧，

所述阀体驱动用辊设置在所述阀体上，以使当所述阀体位于与所述基板搬出搬入口相对的位置上时与所述长条部件相对。

5.如权利要求2所述的闸阀，其特征在于：

所述板状凸轮设置在所述阀体的长条部件侧，

所述阀体驱动用辊设置在所述长条部件上，以使当所述阀体位于与所述基板搬出搬入口相对的位置上时与所述阀体相对。

6.如权利要求2所述的闸阀，其特征在于：

所述阀体驱动用辊沿着所述阀体的长边方向配置多个，并且所述板状凸轮只设置有与所述阀体驱动用辊对应的数量，

通过使所述长条部件滑动，一并驱动全部所述阀体驱动用辊使所述阀体进退，并且能够通过全部所述阀体驱动用辊一边按压所述阀体一边将所述阀体保持在所述闭塞位置。

7.如权利要求2所述的闸阀，其特征在于：

设置有支撑部件，该支撑部件从所述长条部件的背面侧支撑所述长条部件，以使所述长条部件承接从所述阀体作用的力。

8.如权利要求7所述的闸阀，其特征在于：

所述支撑部件由设于所述框体的背板或其他腔室的侧壁上的支撑辊构成。

9.如权利要求7所述的闸阀，其特征在于：

所述支撑部件由设于所述长条部件上的支撑辊构成。

10.如权利要求7所述的闸阀，其特征在于：

所述支撑部件由支撑辊构成，

所述支撑辊配置成当所述阀体位于按压地闭塞所述基板搬出搬入口的位置上时与所述板状凸轮以及所述阀体驱动用辊隔着所述长条部件并排在直线上。

11.如权利要求1所述的闸阀，其特征在于：

所述升降驱动机构由通过使活塞杆伸缩而使阀体铅直升降的致动器构成，

所述活塞杆的前端通过相对于该活塞杆使所述阀体在所述进退方向自由滑动的阀体滑动机构，从所述阀体的下方支撑所述阀体。