[发明专利]闸阀以及使用该闸阀的基板处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于开闭基板的搬出搬入口的闸阀和使用该闸阀的基板处理装置。

背景技术

在对半导体晶片等的基板或液晶基板等的FPD(Flat PanelDisplay：平板显示器)基板进行例如蚀刻、成膜等规定处理的基板处理装置中，具有用于移送基板的基板搬出搬入口，并具有多个在关闭基板搬出搬入口的状态下内部形成真空气氛的腔室。作为这样的腔室，例如可以例举有在真空气氛下进行基板的处理的工艺处理室(包括反应容器)、在真空气氛下搬送基板的搬送室、以及在真空气氛和大气压气氛之间交换基板的负载锁定室等。

闸阀一般是如上所述当关闭时将构成真空气氛的腔室以气密状态遮蔽，当打开时能够移送基板的真空阀，用于开闭腔室的基板搬出搬入口，或者将相邻的腔室间彼此隔开。

具体而言，闸阀具有长条的板状阀体，该阀体横向形成较长以能够闭塞用于以水平姿势将基板搬出搬入的基板搬出搬入口，通过气缸或油压缸等致动器来驱动阀体，以开闭基板搬出搬入口。这种情况下，将阀体从基板搬送时不成为障碍的位置(例如基板搬出搬入口的下方位置)移动到基板搬出搬入口，为了密封基板搬出搬入口而以规定的按压力将阀体压附在基板搬出搬入口而将其闭塞，从而关闭基板搬出搬入口。

作为这样的闸阀，例如在专利文献1中记载有这样的结构，在设于腔室的侧壁上的框体内设置通过油压缸升降的板状的闸门基座，将闸门基座和阀体的两端通过连杆转动自由地连接，构成平行曲轴机构。据此，若驱动油压缸而使阀体与闸门基座一起上升，则阀体与框体的顶板抵接，而被顶板限制，被向前方压出。由此，仅通过驱动升降用的油压缸，即能够按压地闭塞基板搬出搬入口。

但是，在专利文献1那样的结构中，除了阀体外还必须使与其同样大小的闸门基座也升降，因此仅此部分就必须增大油压缸的作动力。而且，由于仅通过升降用的油压缸除了要进行阀体的升降动作外，还要进行按压阀体来关闭基板搬出搬入口的动作，所以为了确保对于密封基板搬出搬入口所必要的阀体的按压力，需要作动力更大的油压缸。

有关这一点，例如，如专利文献2、3所示，将阀体本身设置成可自由升降，与阀体升降用的气缸分开地还设有从阀体的背面以开闭用的气缸的动作力按压阀体来进行闭塞的构件。据此，驱动升降用的气缸，使阀体上升后，仅驱动开闭用的气缸，就能够将阀体压附在基板搬出搬入口而将其闭塞，所以能够减轻阀体升降用的气缸的负担。

专利文献1：日本特开平5—196150号公报

专利文献2：日本特开2004—316916号公报

专利文献3：日本特开2005—76845号公报

然而，通过驱动如上述那样的与升降用的气缸分开设置的开闭用的气缸，将阀体压附在基板搬出搬入口的结构中，在该状态下为了保持阀体，开闭用的气缸的作动力也是必要的。因此，为了以将阀体压附在基板搬出搬入口上进行闭塞的状态对其进行保持，需要持续使开闭用的气缸工作。这一点与专利文献1记载的结构是同样的，为了以将阀体压附在基板搬出搬入口上的状态将其保持，需要使油压缸持续工作。

这样，若例如油压缸或气缸等致动器出现故障或发生停电等而使致动器的作动力消失，或者由于作动介质(作动气体、作动油等)的泄漏等使致动器的作动力降低，则通过腔室内侧和外侧的压力差会使阀体打开。

发明内容

因此，本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种闸阀及使用该闸阀的基板处理装置，即使没有驱动阀体的致动器等的驱动机构的作动力，也能够将阀体以按压在基板搬出搬入口上的状态保持。

为了解决上述问题，根据本发明的某一观点，本发明提供一种闸阀，其用于开闭设于腔室的侧壁上的基板搬出搬入口，其特征在于，包括：以包围所述基板搬出搬入口方式设置在所述腔室的侧壁上的框体；升降自由地设置在所述框体内并开闭所述基板搬出搬入口的阀体；在与所述基板搬出搬入口相对的位置和从所述基板搬出搬入口退避的位置之间使所述阀体升降的升降驱动机构；和在与所述基板搬出搬入口相对的位置和按压地闭塞所述基板搬出搬入口的位置之间使所述阀体进退的由凸轮机构构成的开闭驱动机构，所述凸轮机构具有：长条部件，其沿所述阀体的整个长度方向配置在所述阀体的背面侧，并自由可动地支撑在所述框体上；和凸轮。其伴随所述长条部件的动作而按压驱动所述阀体，并使从所述基板搬出搬入口侧反压所述阀体被的力作用在所述长条部件上，从而在所述闭塞位置按压保持所述阀体。这种情况下，凸轮例如可以是板状凸轮，另外也可以是旋转凸轮。