[发明专利]喷镀膜形成方法以及喷镀膜形成装置

权利要求书

1.一种喷镀膜形成方法，使一边熔融所供给的喷镀用材料 一边喷射该熔融的喷镀用材料的喷镀枪在圆形孔内旋转以及沿 轴向移动，而在该圆形孔内表面上形成喷镀膜，其特征在于， 使由上述喷镀枪在上述圆形孔的轴向端部喷向上述圆形孔内表 面上的喷镀用材料的单位面积喷射量多于上述圆形孔内表面的 其他部位，来使圆形孔内表面上的喷镀膜整体上变得均匀化。

2.根据权利要求1所述的喷镀膜形成方法，其特征在于， 使在上述圆形孔的轴向端部的上述喷镀枪在上述圆形孔内沿轴 向移动的移动次数多于在上述圆形孔的其他部位的移动次数。

3.根据权利要求1或2所述的喷镀膜形成方法，其特征在 于，通过使在上述圆形孔的轴向端部向上述喷镀枪供给喷镀用 材料的供给速度快于其他部位的供给速度，可使喷镀用材料在 上述圆形孔的轴向端部喷射到上述圆形孔内表面上的单位面积 喷射量多于其他部位。

4.根据权利要求1所述的喷镀膜形成方法，其特征在于， 使上述喷镀枪在上述圆形孔的轴向端部的轴向移动速度和转速 当中的至少任一个慢于在上述圆形孔的其他部位时的速度。

5.根据权利要求1所述的喷镀膜形成方法，其特征在于， 在上述圆形孔的轴向端部使上述喷镀枪的轴向移动短暂停止。

6.根据权利要求2所述的喷镀膜形成方法，其特征在于， 上述喷镀枪在上述圆形孔的轴向端部的轴向移动速度和转速当 中的至少任一方快于上述圆形孔的其他部位的速度。

7.根据权利要求3所述的喷镀膜形成方法，其特征在于， 上述喷镀枪在上述圆形孔的轴向端部的轴向移动速度和转速当 中的至少任一方快于上述圆形孔的其他部位的速度。

8.根据权利要求2所述的喷镀膜形成方法，其特征在于， 作为上述喷镀枪在上述圆形孔的轴向端部的移动，进行了多次 往复移动，该往复移动由从上述轴向端部朝向轴向中央侧的前 往路径、和从该轴向中央侧朝向上述轴向端部的返回路径构成， 使所述多次往复移动中的每次前往移动时的轴向的停止位置互 不相同。

9.根据权利要求8所述的喷镀膜形成方法，其特征在于， 上述喷镀枪在上述轴向端部进行至少2次往复移动，其中第2次 的前往移动的停止位置比第1次的前往移动的停止位置更靠轴 向中央侧。

10.根据权利要求1所述的喷镀膜形成方法，其特征在于， 在形成上述喷镀膜时，使气体在上述圆形孔内从一侧轴向端部 向另一侧轴向端部流动，使喷镀用材料在该另一侧轴向端部喷 到上述圆形孔内表面上的单位面积喷射量多于在上述圆形孔的 其他部位的单位面积喷射量。